/日本工業出版(株)/

■見聞記
○日本で初めて開催されたIECEx年次総会


■レポート
○SICE FESTIVAL 2025
/チェンマイ報告　三菱電機㈱　神余浩夫
計測自動制御学会(SICE)の年次総会は、より多くの参加者を集めるためにイベント色を強めた「SICE FESTIVAL」となった。今年はタイ、チェンマイにて開催され、通常セッションのほか、展示会やレセプション等の趣向が凝らされた。この内容について紹介する。


■特集:半導体製造における計測技術
○半導体製造における隔膜式真空計
/ITWジャパン㈱　天野慎一郎
半導体製造装置における隔膜式真空計に期待される主な役割の再認識を通じて、Brooks Instrument社の隔膜式真空計XacTorr®シリーズ CMX、および2025年にリリースされた次世代機DMXが提供する価値について紹介する。

○半導体プロセスに用いられるマスフローコントローラ・気化システム
/ブロンコスト・ジャパン㈱　杉山彰教
半導体プロセスにおいて、原料液体やキャリアガス流量の測定・制御のために多様なマスフローコントローラや気化システムがしばしば用いられ、プロセス改善やコスト削減に寄与している。本稿では、半導体プロセスにおけるブロンコスト製品の適用例を紹介する。

○新技術を搭載したフライング式インサーキットテスタの最新動向
/タカヤ㈱　柳田幸輝
高速・高密度化が進むプリント回路板に対応したフライング方式プリント回路板検査機の最新動向と、 JTAGとの連携やZEROインパクト技術の導入によって信頼性と適用範囲を拡大した最新モデルの構成と適用事例を紹介する。


■解説
○次世代製造を支える非接触三次元測定システム
/東京大学　高増潔
次世代製造に不可欠となる非接触三次元測定システムの概要を説明し、非接触三次元測定技術の位置づけと課題、対応技術の動向を整理し、特にJIS規格に基づく受入検査方法や不確かさ評価について解説する。

○経皮・果皮ガス成分の定量的イメージング
/東京科学大学　飯谷健太・張耿・市川健太・三林浩二
著者らは、酵素反応を用いたバイオ蛍光法にて、各種ガス成分の濃度分布を選択的かつ定量的にイメージングする手法の開発を進めている。本稿では、ガス分布のイメージング意義、原理、応用例(経皮ガス、および経果皮ガス分布の評価)について概説する。

○IoTセンサ端末用バッテリ無交換化電源回路技術
/早稲田大学　丹沢徹
IoTセンサネットワークの普及には端末の低コスト化と同時にセンサが常時動作できる状態にあるようにしてネットワーク・ユーザーに信頼性の高いサービスを提供しなければならない。本稿でこのトレードオフを解決するバッテリ無交換化電源回路技術を紹介する。

○ロボティクスを活用した工場・プラント施設等の『スマート点検/DX』
/ブルーイノベーション㈱　熊田貴之・遠藤将利
老朽化が進む下水道の維持管理では、安全性と効率性の向上が求められている。本稿では、屋内・狭小空間で運用可能な球体ドローンELIOS 3を活用した下水道点検ソリューションについて、機体の機能、および適用事例を示し、その技術的有用性を明らかにした。


■製品と技術
○データを500 m送信する電池レスIoTデバイスによる設備異常度監視　
/㈱KELK 村瀬隆浩
IoTによるCBMの導入を推進する、温度差3 ℃から動作しデータを500 m送信する電池レスのIoT振動センサーデバイスKSGD-SV10と、IoTデータをパソコンによる高速分析により可視化するKELGEN swiftによる低コストで高性能な設備異常度監視システムを紹介する。


■連載
○マスフロー千夜一夜物語　第112回
/(一社)セーフテクノロジー　黒田誠
質量流量計に分類されるマスフローコントローラー(MFC)は便利ではあるが、万能ではない。設定信号を送れば思うように流量制御ができると思っていると思わぬ大失敗をすることになる。今回は筆者の遭遇した過去の事例を基に解説を行う。

○食品のトレーサビリティ　第92回
/食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会　大野耕太郎
生成AIの進化が日々話題となり、インターネット草創期を想起させる。インターネットは情報伝達の速度や量が飛躍的に増大し経済活動や社会生活は急変した。しかし、AIの進化は更なる広範囲かつ規模の変化をもたらしそうだ。それは米中の対立という深刻な覇権争いがあるからだ。もはやAIはそれを利用する人類が、今の国家・社会をどうしたいのかという理念を問い、使用する国家や国民の善悪への問いかけを余儀なくさせるのではないだろうか。


■コラム
○第113回　学術用語の制定と用語の統一
/東京大学名誉教授 山﨑弘郎


■製品ガイド
○酸素計