/日本工業出版(株)/

■特集:半導体産業の成長
○日本の半導体産業復権シナリオ
/東京理科大学 若林秀樹
日本の半導体産業復権に向け最後で最大のチャンスが到来、官民学あげて取り込んでいる。世界の中で日本の半導体産業はどうあるべきか考察する。

○自動車産業における半導体技術の研究開発、その難しさと面白さ
/名古屋大学　加地徹
自動車産業では、近年急速に半導体技術が取り入れられ、電動化とともに主要な要素技術となっている。本稿では、パワーデバイス開発に関する筆者の経験をもとに、自動車産業での半導体デバイス開発の難しさと面白さを紹介する。

○先端半導体パッケージング向けCMP工程の技術動向
/㈱レゾナック　市毛康裕
今後もCMPは重要な技術であることは間違いなく、前工程だけでなく後工程においても活用されるようになり、要求特性もより高度化している。本稿では、先端半導体パッケージング向けCMP技術動向に関して紹介する。

○半導体製造装置に用いられる位置決め技術
/日本トムソン㈱　志村和樹
本稿では、半導体製造装置に多く採用されている直動案内機器や位置決めテーブルを例に、その特長と高精度化・小形化への取り組み、そして当社の最新の開発事例について紹介する。

○先端半導体技術を支える極端紫外リソグラフィー露光光源
/宇都宮大学　東口武史
本稿では、先端半導体技術を支える極端紫外リソグラフィー露光光源について紹介する。EUV光源のさらなる高出力化とCO2レーザー、EUV光源を含む露光機の消費電力をいかに抑制するかが課題である。


■解説
○千葉県における有害大気汚染物質等の経年変化について
/千葉県環境研究センター　髙橋洋平
地方公共団体は、大気汚染防止法に基づき有害大気汚染物質等のモニタリング調査を行っている。本稿では、千葉県内の調査結果、およびPRTR制度に基づく排出量等を使用し、対象物質の濃度推移等について検討した。

○CO2ハイドレートを用いた蓄電・発電設備
/北見工業大学 小原伸哉
CO2ハイドレートと液体CO2の二つの相変化を利用して、 100 ℃を下回る低温廃熱や未利用熱から、従来にない高い効率で蓄電、および発電可能な新しい電力設備の研究開発を紹介する。

○高電界型電気集じん装置による省エネルギー化
/神奈川工科大学　瑞慶覧章朝
筆者らは、微弱に自然帯電された浮遊粒子をコロナ放電を利用せずに、高電界のみで捕集することを試みた。本稿では、大気じんとディーゼル排気微粒子に対する高電界型電気集じん装置の集じん効果を従来型と比較して紹介する。

○加熱式たばこから発生するギ酸の測定
/東海大学 関根嘉香・川口真槻
加熱式たばこの主流煙エアロゾルに含まれる酸性物質に着目し、イオンクロマトグラフ法により定性・定量分析したところ、ギ酸の発生が認められた。ギ酸は視神経障害等に関与する有害化学物質であり、その生成メカニズムの解明を要する。

○浅層の地中熱を利用する空調・給湯システム
/山梨大学 武田哲明
本稿では、地中熱ヒートポンプのさらなる高効率化と低コスト化を目指して、地中の浅層部に埋設した熱交換器と水冷方式の併用、および井水利用による浅層地中熱利用型空調・給湯ヒートポンプの実証試験と実用化の現状を紹介する。

○ナノ空間工学による浄水技術の開発
/琉球大学　滝本大裕
難分解化合物の吸着除去および分解の技術開発が注目されている。本稿では、これまでの電気分解反応場の課題を解決すべく、我々が発見した束縛反応場の応用展開について紹介する。

○無機イオン交換体の基本性能とアクアポニックスへの展開
/法政大学　渡邊雄二郎
本稿では、無機イオン交換体であるゼオライト、LDHの環境浄化性能、ゼオライト/HAp複合体の肥料成分徐放性能、およびアクアポニックスへの応用に関する著者らの研究の一部を紹介する。

○蛍光ナノダイヤモンドによる最先端イメージング計測技術の開発と医学応用
/(国研)量子科学技術研究開発機構　藤倉大介・植田泰之・嶋田泰佑・湯川博
細胞内物理化学的量の計測は、細胞生物学や診断・治療技術を革新する可能性がある。蛍光ナノダイヤモンド(FNDs)は物理化学量をイメージング計測可能であるとともに、高い安定性とナノサイズ、細胞親和性を有するために細胞への適用性も兼ね備える。本稿では、筆者らが進める再生医療応用を含む実例を踏まえながら、FNDsに基づくイメージング計測の世界的な最前線と将来展望を議論する。


■製品紹介
○クローズドシステム型完全防爆型超音波自動洗浄装置
/コーベックス㈱ 木村啓介
本稿では、有機溶剤の主な使用用途の一つである、洗浄作業に着目して。課題を解決するための一案となるクローズドシステム式溶剤洗浄・蒸留回収システムについて紹介する。


■エンジニアリング会社開発拠点の紹介
○人に快適を。地球に最適を。
/三機工業㈱