計測技術 2022年12月号 PDF版

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計測技術 2022年12月号 PDF版

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■特集:半導体プロセスで活躍する計測技術・機器
○infiTOFによる半導体ガス分析へのソリューション
/カノマックスアナリティカル(株)/桑田啓子
infiTOFは、マルチターン技術を搭載した、超小型で高感度・高分解能な飛行時間型質量分析計である。プロセスチャンバー内の混合ガスを分離し同時、かつ正確にモニタリングすることで、気相成長機構の解明、不純物混入機構の解明など半導体プロセス開発に貢献している。

○高速応答サーマルマスフローコントローラ
/(株)リンテック/落合慧紀
当社が開発したMC-7000は、熱式センサを使用した、従来にない高速応答性を有するマスフローコントローラである。本製品MC-7000は、単に圧力センサ方式のマスフローコントローラを補完するだけでなく、新たな用途にも利用できるものと考えている。

○デバイス評価とケースレー・ソリューション
/(株)テクトロニクス&フルーク/木下伸二
ケースレーは素材やデバイス分野で研究開発から品質保証。製造分野にいたるまで、グローバルに展開する高感度測定機器分野のリーディングブランドである。顧客ワークフローを念頭に当社が展開する測定評価システムや機器を紹介する。

○半導体工場向けガス検知システム
/新コスモス電機(株)/田尻典靖
半導体工場のIoT化に伴い無線技術を利用したガス検知システムの需要が高まると想定される。本稿では、半導体工場向けのガス検知警報器、およびLoRaWAN無線に対応した無線変換器の導入事例について紹介する。また、Bluetoothを利用したガス検知システムの今後の展望について述べる。

○近年の半導体デバイス製造の動向と真空・圧力モニター
/ITW ジャパン(株)/荻尾卓也
新製品であるVersaTorrシリーズ・MEMSピラニー真空計と従来製品のCMXシリーズ・キャパシタンスマノメーターの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例を紹介する。

■特集:クロマトグラフィーとそのアクセサリー1
○バイオガス計測の必要性
/ホダカ(株)/新村賢悟
バイオガス計測の必要性を、バイオガス生成・バイオガス発電の仕組み、バイオガス計測器の計測原理を通じて解説する。

○HPLC用カラム管の課題と対策
/(株)巴製作所/上村俊雄
HPLC(高速液体クロマトグラフィー)用カラム管の様々な課題と対策案を紹介する。

■製品と技術
○簡単導入クラウド型遠隔監視パッケージ
/(株)コンテック/日比野一茂
企業の生産現場等では最適な手段で設備監視を行い、利益を得ることが求められている。一方で、設備の老朽化やセキュリティなど課題が多い。当社の遠隔監視クラウドサービスは最適な設備監視が簡単導入できるパッケージ商品である。

■連載
○マスフロー千夜一夜物語 第86回
/EZ-Japan/黒田 誠
質量流量計に分類される熱式流量計を搭載したマスフローメーター(MFM)とマスフローコントローラー(MFC)。今回は、一般工業分野向けMFMとMFCの技術トレンドを解説する。

○知っておきたい防爆安全 第4回
/(株)イーエス技研/古谷隆志・持田 智
防爆においては、防爆の方式ごとに様々な故障の考え方を陰に、あるいは陽に取り入れている。本稿では、様々な防爆構造の中で故障をどのように考え、対処しているのか、具体例を交えながら解説し、設計者のヒントとなるような考え方を提示する。

○計測の小史 第6回
/(株)武藤技術研究所/武藤一夫
連載では、計測工学の原点を見つめなおす、ということで計測の小史について見ている。本稿では、第6回目中世(中編、17世紀初期)の計測として、中世の16世紀後半から17世紀初期まで、とくにコペルニクスからホイヘンスまでの計測の小史について紹介する。

■コラム
○第77回 東海道山陽新幹線の新型車両:床下に大きな進歩
/東京大学名誉教授/山﨑弘郎

■製品ガイド
○酸素計

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