日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2019年11月号
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L1911

クリーンテクノロジー 2019年11月号

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■特集:クリーンルームの災害対策
○IoTを活用した次世代のBCP支援システム
/大成建設(株)/関山雄介・内山泰生・佐藤貢一
IoTの活用により、従来の地震対策に加えて更なる減災・復旧日数縮減を可能とする次世代のBCP支援システムとして、これまで対応が難しかった地震直前/直後を含む地震前.応急・復旧段階の各フェーズに対応する対策を紹介する。

○BCP対応型の次世代電子デバイス工場
/大成建設(株)/上田俊彦・関山雄介・薦田香織・矢田雅一/(株)篠塚研究所/佐藤芳久
巨大地震に対する被害最小化と工場復旧の超短工期化をコンセプトとしたBCP対応型の次世代デバイス工場について、建築構造体、非構造部材等の部位ごとの対策技術を紹介すると共に、効果的な対策立案のための地震リスクマネジメント手法を、事例を交え解説する。

○電子デバイス生産施設のリスク軽減技術、クリーンルームの地震対策
/鹿島建設(株)/小野宜彦
自然災害リスク軽減に取り組む企業の多様なニーズに対し、保有する要素技術、実際の対策事例やBCP 支援サービスについて、その概要を紹介する。

○断熱サンドイッチパネルを用いた耐震天井
/日軽パネルシステム(株)/松本量央
近年頻発する震災により建築業界では耐震への要求が年々高まっている。本稿では、産業空間における主要建材である断熱サンドイッチパネルを用いた、「断熱」に留まらない「安心・安全な空間構築」について紹介する。

○3.11震災から学ぶ東北大学MEMS関連施設の例
/東北大学/田中秀治
本学のクリーンルームを含むMEMS関連施設が3.11震災で受けた被害を整理し、同規模の地震に見舞われた際、読者の事業所でどのようなことが起こりうるか頭の中でシミュレーションするための材料を提供する。

■特集:産業を切り拓く可能性を秘めた新技術1
○超音波ホーンを用いた高濃度ファインバブルの効率的生成方法ならびに活用例
/明星大学/清宮義博
筆者らが提唱する超音波ホーンを用いた高濃度ファインバブルの効率的生成方法ならびに活用例について述べつつ、大都市農業に高濃度溶存オゾン水を活用することで、狭い農地の有効利用と野菜の生育に有効であることが分かってきたので、この問題についても例を挙げて紹介する。

○フレキシブルデバイスに向けたIn-Ga-Zn-O薄膜トランジスタの新たな低温形成技術
/高知工科大学/古田 守
In-Ga-Zn-O薄膜トランジスタ(IGZO TFT)は次世代ディスプレイへの研究が活発である。IGZOは室温成膜可能であるが、良好な特性には300℃程度の熱処理が必要である。今回はフレキシブルデバイスに向けた150℃プロセスによるIGZO TFTを開発した。

○分子プレカーサー法による光充電型薄膜リチウムイオン電池の形成
/工学院大学/永井裕己・佐藤光史
本稿では、比較的安定な金属錯体を前駆体とする薄膜形成法の分子プレカーサー法の応用と、それを用いて形成した光で充電する薄膜リチウムイオン電池について紹介する。

○FPD製造工程などの静電気放電の検出評価技術とEMC用高感度低周波磁界プローブ
/九州工業大学/大塚信也
本稿では、新技術説明会で紹介した「FPDにおける静電気放電の検出評価技術」と「プリント基板や電子デバイスにおける近傍磁界を高感度・高空間分解で測定できるEMC用低周波磁界プローブ」の技術概要を紹介する。

○環境エネルギー発電技術開発と安価で印刷可能なハイブリッド発電シート
/小山工業高等専門学校/加藤岳仁
世界のエネルギー事情に明るい未来を創ることを目指し、産学官の連携のもと、次世代型環境エネルギー発電デバイスの研究開発に「有機無機ハイブリッド材料」と「塗布プロセス」をキーワードに挑む。

■特集:無菌製剤施設除染技術の最新動向2
○ドライ方式過酸化水素除染の機構と特性検討
/(株)日立プラントサービス/末松孝章
発熱機器を含む閉鎖系アクセス制限バリアシステム等への適用を念頭に、ドライ方式過酸化水素除染の機構と特性を検討した結果、均一な除染性能を得るにはウェット方式と比べドライ方式が優位であることを明らかにした。

■解説
○磁歪振動発電と応用展開
/金沢大学/上野敏幸
本稿では、磁歪振動発電デバイスの構造と原理、特性、IoTへの応用、また将来的にデバイスを大型化した場合の電力回生や再生可能エネルギーへの展望を紹介する。

○洗浄バリデーションに対する実践的な取り組み
/ナノキャリア(株)/宮嶋勝春
開発品の活性が高まるとともに、洗浄バリデーションの重要性も高まっている。本稿では、洗浄バリデーションの実施において検討すべき、残留限度値の設定基準や目視検査の標準化など10項目について、その現状と課題を紹介する。

■解説
○目詰まりしないオンラインTOC計
/(株)ハック・ウルトラ/岡田政嗣・佐々木信也

○次世代ATPふき取り検査システム(A3法)
/キッコーマンバイオケミファ(株)/松本浩祐

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