日工の技術雑誌

計測技術 2014年12月号 PDF版
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A1412

計測技術 2014年12月号 PDF版

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■特集:半導体製造工程で使われいる計測機器、装置
○原子層堆積法(Atomic Layer Deposition:ALD)
プロセス用サファイア隔膜真空計/アズビル(株)/内山修
半導体はスマートフォンやタブレットPCで代表されるように小型化、高集積化が求められる。ALDは高品質な膜が成膜可能であり、高集積化に役立っている。反面、どこでも成膜されるためにプロセスチャンバーや配管類、ポンプなどの排気系の内部にも膜が一定の割合で堆積してしまう。これら課題の解決を行い「ALDプロセス用サファイア隔膜真空計」の開発に成功したので紹介する。

○半導体カーブトレーサ/岩通計測(株)/成田芳正
半導体カーブトレーサは主に手動測定を使用されてきたが、最近では、ハイブリッド自動車に使用されるインテリジェント・パワー・モジュールなどのように複数のパワー半導体デバイスをモジュール化した製品などの検査用としてのニーズも高まってきた。本稿ではスキャナーシステムと組み合わせて全自動で測定可能な機能を備えた、カーブトレーサシリーズと機能を紹介する。

○半導体における質量ガス分析計の活用方法/インフィコン(株)/岸川信介
本稿ではPVD半導体装置にて活用されている3種類の“質量ガス分析計”を基に紹介している。その特徴としては、統合型生産管理ソフトウエアFabGuard-FDCによるWafer/Lot IDに紐づけされたリアルタイムおよび、統計的手法の管理である。

○露点計測の基礎と各種露点計技術/ヴァイサラ(株)/荒井良隆
本稿では、露点の定義、各露点計の特徴、そして素早い応答性を示す静電容量式高分子センサの原理と、当社の独自の技術(自動補正機能とセンサパージ機能)について紹介する。

○設置現場環境に適したガス検知警報器(KS-7)の開発
/新コスモス電機(株)/都大介
一酸化炭素検知警報器「KS-7D」と酸素検知警報器「KS-7O」は、当社従来品と比較して、わかりやすい警報音声と表示方法を有している。様々な現場環境に設置できるよう、使用電源の種類が選択可能となった。さらに小型、軽量で簡単に設置できることをコンセプトに開発を行った。

○比重を使用したウエットプロセスにおける薬液の濃度管理
/(株)ティ・アンド・シー・テクニカル/野口和信
比重計を利用した薬液の濃度測定は半導体や液晶製造のウエットプロセス、MEMSデバイスなどの最先端の微細加工技術など幅広い応用が可能である。本稿では他の計測機器との比較をしながらその測定原理、特徴、応用例などを概説する。

○最先端プロセスを支える技術/(株)堀場エステック/赤土和也
近年、半導体プロセスの微細化、ウエハの大口径化の流れに伴い、ガス供給システムにおけるマスフローコントローラの役割が重要視されてきている。そこで、新たに開発した差圧式マスフローコントロールモジュール『Criterion D500シリーズ』について紹介する。

○薬液濃度モニター/(株)堀場製作所/斧田拓也・高木想
半導体デバイスの歩留り確保には、ウェットプロセスにおける薬液濃度の管理が重要である。HORIBAでは吸収分光法を原理とした多成分用濃度モニターをラインナップしている。本稿ではその実力や特長について紹介する。

○パワー半導体向けインライン計測・検査
/(株)日立ハイテクノロジーズ/前多健次・小林健二
LSI製造工程における計測・検査・テストを示し、当社が先端半導体製造プロセスで培ったインライン計測・検査技術をパワー半導体製造プロセスへ適用することにより、不良発生原因の早期究明、トレーサビリティ・歩留まり向上、コスト低減に寄与する。

○半導体製造における「超音波濃度計」の活用例/富士工業(株)/大隅清博
超音波濃度計自体は各種様々な業界、現場にて使用されている機器ではある。本稿では多成分測定の原理と合わせ、半導体プロセスでの測定例を紹介する。

○燃料設備の調整で省エネ・経費削減に貢献/ホダカ(株)/新村賢悟
当社のホダカテストシリーズには、酸素濃度計をはじめ一酸化炭素濃度計、窒素酸化物濃度計等、様々な排ガスを分析する燃焼排ガス分析計がある。本稿ではボイラ、コージェネレーション、各種工業炉等の燃焼機器の燃焼調整や燃焼管理を行うための燃焼排ガス分析計ホダカテストHT-3000を紹介する。

■連載
○ガス流量計測のはなし 第91回
流量計79 流量計の基礎(32)/東京メータ(株)/小林駿
「流量計の基礎 」、今回「面積式流量計?」では、湿式ガスメータを使った水蒸気圧補正式を導き出した研究実験の概要とその補正式の解説をする。ガス燈では、北海道旭川市大雪アリーナの旭川ガス(株)のガス燈を示す。コラム欄は、「省エネルギー?では、「スマート・ムーブ?」ついて述べる。

○マスフロー千夜一夜物語 第9回
質量流量計の基礎/EZ-Japan/黒田誠
今回は、前回に引き続き熱式流量計マスフロー(マスフローメータ&マスフローコントローラの総称として用いる)の代表的なトラブルであるゼロ点ズレに関して解説する。

○食品のトレーサビリティ  第3回
各国のトレーサビリティ/(株)オプティマ/大野耕太郎
消費者が食品の出処を知る情報源である表示の問題を取り上げ、食品トレーサビリティの必要性を考察する。今回は海外におけるトレーサビリティの概要、食品トレーサビリティの国際的な動向、日本の事情にふれて解説する。

■コラム
○技術者育成雑感(86)
■製品ガイド
○面積流量計

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