/日本工業出版(株)/

■特集:クリーン化における洗浄技術
○超音速蒸気流によるエコ洗浄技術/東京海洋大学大学院/刑部真弘
超音速で噴出する湿り蒸気を直接対象物にあて、大気解放中で洗浄する方法を検討した。超音速ノズルでの不足膨張や過飽和現象により高い洗浄率が達成されることが期待される。なお、超音速蒸気は内部形状を簡素化したドラバルノズルにより得ることとした。

○炭化水素系ワンバス式真空洗浄乾燥機/(株)クリンビー　/岡村和彦
最近、炭化水素系ワンバス式真空洗浄乾燥機が売れている。その理由は、安価で小型でありながら、全自動でかつ洗浄から乾燥まで全て真空中で処理するので洗浄性・乾燥性・安全性が高いからである。本洗浄機は、中小企業の脱塩素系の決定打になると考えられる。

○工業洗浄剤に関する法規制の最新動向と対応
/(株)旭リサーチセンター/新井喜博
工業洗浄剤の化学品に対する法規制は、地域環境・公害防止、地球環境問題、健康・安全に対するもので、工業洗浄剤の化学品への新知見や化学物質管理の進歩と共に法令も変化している。地球環境問題への対応は欠かせないが、化学物質の毒性や物性に関連した基本的な健康・安全対策も不可欠である。健康と環境に及ぼす影響を総合判断して最小化するリスクトレードオフを基本的な考え方にした法令変化への対応が望まれる。

○超音波洗浄より高い洗浄性を達成するために
/(株)カイジョー/副島潤一郎
超音波は複雑な形状をした機械加工金属部品を一括に隅々まで洗浄できる。水や薬液につけ、細かい部位にまで浸透させ、油脂やパーティクル落とすことが可能であり、
薬液の効果を促進できるのも超音波の魅力である。超音波洗浄でより高い洗浄性を達成するための手法について纏めた。

○高活性物質を取り扱う多目的設備における洗浄
/ファルマハイジーンサポート/島一己
高活性物質を多目的設備で取扱う場合には、切替え洗浄時における洗浄評価が課題の一つである。最近のEU-GMP改定において、その評価に健康ベース曝露限界値を用いる
ことが必要とされている。上記曝露限界値を用いる場合の課題とその対応について紹介する。

○オゾンマイクロバブルを利用した最先端洗浄技術
/(独)産業技術総合研究所/高橋正好
本稿ではマイクロバブルと呼ばれる小さな気泡の特性を利用して、最先端産業のひとつである半導体ウェーハを洗浄しようとする取り組みについて紹介したい。

○マイクロバブル技術を活用した洗浄技術開発
/茨城県工業技術センター/石川洋明
半導体製造工程で使用するレジスト剤を除去するためには、通常環境負荷の大きい薬剤等を使用する。そのため、洗浄用薬剤の使用を大幅に削減した新しい半導体ウェーハ、冶工具洗浄技術の開発が望まれている。本研究では、オゾンやアルカリ系溶液とマイクロバブル技術を組み合わせて、半導体ウェーハや製造用冶工具類の洗浄を試みた。

■特集:クリーンルームの災害対策の技術動向
○400V系　高効率無停電電源装置/(株)明電舎/大石覚
データセンター等にバックアップ電源として設置される大容量の無停電電源装置は、トータルコストを抑制するために高効率であることが求められる。今回は当社無停電電源装置THYRICシリーズの最新ラインナップである400V系THYRIC 7000について紹介する。

○製造設備におけるUPSの最新技術動向
/東芝三菱電機産業システム(株)/森治義
生産効率向上のため、停電・瞬低対策範囲が拡大しており、これに伴って増大するUPSの損失を低減することが重要になってきている。本稿では、製造ラインに用いられる大容量の停電・瞬低対策用UPSについて、高効率化の最新技術動向を紹介する。

○電気・電子機器における雷防護対策/音羽電機工業(株)/阿部雄太
近年、被害が増加傾向にある雷について、その発生メカニズムや雷被害の内容、雷保護システムに関するJISの概要を紹介し、建築物そのものの雷対策や建築物内部の電気・電子システムの雷保護について、事例を交えながら紹介する。

○クリーンルームにおけるガス検知器/理研計器(株)/岩村大介
半導体関連工場内のクリーンルームにおけるガス検知器について、最新のスマートタイプ定置型ガス検知器及びポータブル吸引式毒性ガスモニターについて紹介する。

■連載
○わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策25
対策-各論[ケミカル汚染物質](その6)/新日本空調(株)/水谷旬
■製品紹介
○金属フリーのクリーン手袋
/NTT-ATクリエイティブ(株)/岩金功・大島通資・堀田政信
/徳島県立工業技術センター/有澤隆文
○ハーフインチウェーハの開発
/不二越機械工業(株)・ミニマルファブ技術研究組合/黒岩久人
○有機EL関連デバイス/関東化学(株)/新内聡暢・Wang Kai
○新カスカーダ超純水・純水製造システム/日本ポール(株)/小林礼治

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