/日本工業出版(株)/

■特集:MEMS分野の最新動向1
○MEMS分野の動向/東北大学/江刺正喜・田中秀治
MEMSをLSI上に転写し、また蓋をして封止するウェーハレベルパッケージングの研究として、CMOSLSI上へのFBAR、SAWデバイス、PZTスイッチの集積化、および触覚センサネットワークや超並列電子ビーム描画装置のための面電子源について述べる。

○MEMS関連市場予測/(財)マイクロマシンセンター/阪井淳
既存システムの高付加価値化や新産業の創出においてMEMSはキーデバイスであり、国内外の関連企業は今後どのようなMEMSがどのような分野で求められているのか高い関心を寄せている。一般財団法人マイクロマシンセンターでは、これまでも定期的にMEMS関連デバイスの市場予測を行ってきた。本稿では2011年度に実施した2020年までのMEMSの市場予測の内容を中心に報告する。

○省エネに寄与するグリーンセンサネットワークシステム
/(独)産業技術総合研究所/前田龍太郎
無線センサ端末を利用したエネルギーモニタリングにより、省エネを目指す「グリーンセンサネットワークプロジェクト」について紹介する。電池交換頻度の少ない低消費電力センサ端末の開発や、無線センサネットによる省エネ実施例について解説する。

○有機分子のナノ構造・配向制御が創り出す
次世代有機・熱電デバイス
/九州工業大学/宮崎康次/九州大学大/安達千波矢
p型ペンタセン、n型フラーレンを有機熱電材料として着目し、ドーパント材料(p型F4-TCNQ、n型Cs2CO3)とナノ積層構造にすることで熱電特性を向上させた。本研究を通して、積層構造界面を利用して熱電特性を高める新たな設計指針を示した。

○MEMSに異機能を集積するプロセス技術/東京大学/藤田博之
MEMSの一層の発展と応用展開を図るために、ナノテクノロジーや印刷・紡織技術をMEMS技術と融合して、ナノからメートルまでの加工寸法をシームレスにカバーすると同時に、有機材料やバイオ材料を取り込み、様々の機能の集積を可能とした新しい製造技術を紹介する。

○MNOIC(MicroNano Open Innovation Center: エムノーイック)
/(一財)マイクロマシンセンター/今仲行一
マイクロ・ナノ分野の開発効率、事業効率を飛躍的に向上させ、産業の最強化・再強化を目的に、産業技術総合研究所の保有するMEMS最先端施設の共同利用でオープンイノベーションを推進するMNOIC(エムノーイック)について、狙い、機能、施設の概要について述べる。

○京都大学ナノテクノロジーハブ拠点/京都大学/竹内司
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点は最新鋭のナノ加工装置、評価装置を供用する施設として、すべての研究者に等しく開かれた、簡単な手続きで利用できる施設として平成23年5月に開所した。本稿では本拠点の施設、装置群の概要、その利用方法について述べる。

○豊橋技術科学大学エレクトロニクス先端融合研究所
/豊橋技術科学大学/石田誠
「エレクトロニクス先端融合研究所」(Electronics-Inspired Interdisciplinary Research InStitute:EIIRIS(通称:アイリス)は、本学の持つ強みである「エレクトロニクス基盤技術分野」(センサ・LSIチップ)とそれを用いて研究を展開する「先端的応用分野」(ライフサイエンス、医療、農業科学、環境など)との新たな融合を目指した異分野融合研究拠点で、2010年10月に設立された。その紹介をする。

■解説
○抗菌加工製品(非多孔質)の国際標準化/(株)LIXIL/今井茂雄
日本発の抗菌加工技術は、日本で市場形成され、日本主導で抗菌加工製品(非多孔質)の国際標準ISO 22196を策定し、現在世界で活用されている。ますますグローバル化する市場経済において、国際標準の重要性と策定までのプロセスを紹介する。

○プレハブ仮設住宅の居住性/長岡技術科学大学/木村悟隆
中越地震から東日本大震災までのプレハブ仮設住宅の居住性について、結露を中心に取り上げた。災害の度に少しずつ改善されている一方で、一種の欠陥として残っている部分もある。コストを余り掛けずに、どう過ごしやすくするか、設計・施工上の工夫が今後求められる。

○カーボンナノチューブ飛散量/暴露量の評価手法
/(株)竹中工務店/谷英明
カーボンナノチューブ(以下、CNT)等のナノ材料については、健康影響に対する懸念から、作業員への暴露防止や事業所外への排出防止等が求められている。本稿では、我々の提案するCNT飛散量/暴露量評価手法について、作業現場で採用した事例とともに紹介する。

○大型マルチタッチ用途に最適な赤外線走査方式
マルチタッチパネル/(株)タッチパネル研究所/西川武士
大型でかつマルチタッチが認識できるタッチパネル製品として近年赤外線走査方式タッチパネルが脚光を浴びるようになってきた。大型マルチタッチパネルとしては赤外線走査方式タッチパネル以外にもカメラ方式をはじめいくつか提案されているが、近年では赤外線走査方式タッチパネルが大型マルチタッチパネルの大
本命として注目されている。本稿でそれについて述べる。

○新除湿システム「Smart Dry」
/(株)ダイキンアプライドシステムズ/桑名孝一
リチウムイオン電池の製造環境、空調の温湿度条件は、露点温度-50℃以下の低露点環境が求められる。乾式除湿機の再生温度60℃の低温再生で、高い省エネ性を実現した、新しい除湿システムを紹介する。

■連載
○有機EL照明の最新動向第2回
日本と各国政府の開発プロジェクトと、参画企業の動向
/(株)分析工房/服部寿

○わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策9
ケミカル汚染物質(その3)/新日本空調(株)/水谷旬

■製品紹介
○手術室の新空調システム「KVFS」の開発と導入
/鹿島建設(株)/飯田純・小林直樹・権藤尚・武政祐一・
加藤正宏・大西直紀・蘓理萌子・大眉純明