日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2013年2月号 PDF版
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L1302

クリーンテクノロジー 2013年2月号 PDF版

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■特集:BCP対策の新展開
○エネルギーサービスの紹介と電力セキュリティ
/(株)エネルギーアドバンス/速川敦彦
オンサイトエネルギーサービスとCGSの非常時運用についてCGSを中心とした省エネ設備全般にわたるオンサイトエネルギーサービ
ス、及びCGSを高効率省エネ機器としてだけでなく、電力供給信頼性向上を図るシステムとして設置する際の対応策と検討事項につい
て紹介する。

○日立ガスエンジン発電設備
/(株)日立エンジニアリング・アンド・サービス/弓田孔生・藤村尚
BCPで最も重要とされるのは電源確保であり、震災以降火力発電への依存度が増大し、分散電源が注目されている。本稿では、当社
の取扱っているガスエンジン発電設備の特徴および電力系統停電時の自立運転に関する留意点や事前に計画されている停電での発電設
備運用について当社にて実績のあるシステムを紹介する。

■特集:より安全・安心な医薬品の環境整備を目指して
○医薬品のガンマ線滅菌
/(株)コーガアイソトープ/河合政利・松本裕之
最終滅菌法としてガンマ線滅菌は、日本薬局方に既に明記されている。しかし、国内の原薬および製剤に普及しているとは言えない。
本稿でガンマ線滅菌の特徴、照射方法および導入する際の注意事項を紹介する。ガンマ線滅菌導入の一助になれば幸いである。

○塩野義製薬医薬研究センターSPRC4
/(株)竹中工務店/西村泰弘・小幡剛也・北村俊裕
本研究所は「環境技術」と創薬に最も重要な「知的生産性向上」を両立を目指し、大阪府CASBEEのSランク取得と共に、国土交通
省のH21年度「住宅・建築物省CO2推進モデル事業」にて補助金の採択を受けた。本誌にて計画全般の概要と実績について紹介する。

○封じ込め設備におけるミストシャワー
/東洋エンジニアリング(株)/島一己
活性レベルが高い薬理活性物質を扱う設備では、製造工程室で更衣に付着する粉体が外部へ拡散しないように、更衣を湿潤化するミ
ストシャワー設備が必要とされることがあり、その一例を紹介する。

○無菌+高生理活性製剤製造用アイソレーターのソリューション
/(株)SKAN JAPAN/潮田江次
本稿では、無菌製剤製造用のアイソレータに高生理活性の封じ込め機能を追加させたアプリケーションを構築するためのポイントを
記載したい。

■解説
○周辺環境に影響しない還気式クリーンブースおよび開口部の構成法
/(株)大林組/諏訪好英
クリーンルーム内でクリーンブースを併用した場合、ブースからの排出空気が周辺の気流を乱して新たな汚染を引き起こす。そこでブース内からFFUへのレターン経路を設けた還気式クリーンブースを提案し、数値シミュレーションによりその有効性を示した。

○微小空間の気中分子状汚染評価ツールの開発
/(株)住化分析センター/堂園美奈・三枝哲也・村上雅志
フォトマスクとペリクルで囲まれた微小空間内の気中分子汚染を評価することはヘイズの発生過程を評価するうえで重要である。今
回我々は、高感度固体吸着アクティブサンプラーを用いて微小空間内の気中分子状汚染を評価するツールを開発したので紹介する。

○吸着式除湿機における省エネシステム
/(株)テクノ菱和/菅田大助・海老根猛
吸着式除湿機は、リチウムイオン電池の製造などに必要な低湿度環境を実現するために使われている。しかし、その運転には多量の
エネルギーが必要なため、省エネが求められている。そこで、20〜50%の省エネを実現した除湿システムについて紹介する。

○電解水による殺菌、脱脂および脱臭効果
/オルガノ(株)/澄田康光・山中弘次
電解水には優れた殺菌効果と脱脂洗浄効果がある。電解水は水と電気と原料(電解質;塩、重曹など)があれば生成可能な簡便な洗
浄水である。本稿では、電解水を生成する装置の特徴と生成される酸性電解水及びアルカリ性電解水の効果について述べる。

○建築構造物を利用した発電/鹿島建設(株)/丹羽直幹
建築構造体の接合部に圧電素子を組み込み、風などの外乱により生じる力学エネルギを電気エネルギに変換して電力として利用する
再生可能な分散エネルギに関して、システムの概要と特徴、発電性能の試算、実験による特性確認、非鉛系材料の可能性について示す。

○プラズマプロセスの新展開/大阪大学/北野勝久・谷篤史
/大阪府立産業技術総合研究所/井川聡/鶴見大学/大島朋子
熱を感じない冷たい大気圧プラズマを用いることでプラズマ医療が可能となる。プラズマから生成される活性酸素種を用いた消毒応
用を進めており、濡れ環境である人体では液体殺菌が重要となるが、低pH法により殺菌時間を1/100とすることに成功した。

○ウエハ温度制御による高精度深孔エッチング
/(株)日立製作所/丹藤匠・横川賢悦・根岸伸幸
本稿では、フッ素系不活性液体を冷媒として使用した従来のウェーハ冷却技術に比べて、高効率冷却と高速温度制御が可能な直接膨
張式(以下、直膨式)の冷却技術を検討した結果について述べる。また、試作した直膨式の冷却システムを用いてエッチングの進行に
伴ってウェーハ温度を制御することで、ホール内のラジカル輸送制御を行い、エッチングの性能向上を検討した結果について紹介する。

■連載
○わかりやすく学べる クリーンルームの基礎と汚染対策 第7回
注意事項及びケミカル汚染物質(その1)/新日本空調(株)/水谷旬

■製品情報
○環境微生物のモニタリングにおけるトレンド管理方法
/(株)日立プラントテクノロジー/池松靖人・後藤田龍介
○モニタリングTOC計活用方法
/(株)ティ・アンド・シー・テクニカル/浅見幸彦

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