/日本工業出版(株)/

■特集:半導体製造工程で使われている計測機器・装置
○次世代半導体製造工程に於ける干渉計の活用
/(株)アイ・アール・システム/内藤紘平
半導体業界では干渉計測が重要な計測方法の1つとなっているが現状は汎用自由度が低い。高速撮像干渉計を用いて自動化カスタマイズを行うことによって、インラインで測定自体も高速化しながら精密で信頼性の高い計測が実現した。効率化や不良削減などの効果が期待できる。

○280℃までの耐熱性を実現したサファイア隔膜真空計/アズビル(株)/内山修
隔膜真空計は高い耐食性と耐熱性を有したものが必要になる。当社は、独自に耐食性、耐熱性に優れたサファイアを用いたデバイスの実現を目指し、サファイア微細加工技術開発に取り組んできた。これら計測と制御の技術とサファイア微細加工技術とを組み合わせ、サファイア高温隔膜真空計の開発に取り組み、280℃という高温まで対応できる商品の開発に成功した。本稿ではサファイア真空計の基本要素と、280℃高温型の技術要素を200℃までの標準品と比較する形で紹介する。

○半導体カーブトレーサ/岩通計測(株)/成田芳正
半導体カーブトレーサは、半導体に印加される電流?電圧特性をリアルタイムに測定することができる計測器であり、半導体の製造工程には欠かせない測定器の1つである。半導体の製造工程は、ウェハ上へのパターン形成・電極形成を経て最終的にウェハ上に形成した回路の検査までを含む前工程と、ウェハをダイに切断し、パッケージングした後に最終検査し、マーキングするまでを含む後工程に分けられる。ここでは、半導体の特性評価に最適な高電圧モードと大電流モードを備えた、半導体カーブトレーサシリーズとその最新の機能を紹介する。

○新TLV-TWAに対応した高感度
アルシンガス検知警報器
/新コスモス電機(株)/田尻典靖
ASH3ガスのTLV-TWAの改訂に伴い、ASH3ガスをより高感度、かつ高精度に漏洩検知できる検知警報機を開発した。検知原理である化学発光方式と機器の再現性・直線性・長期安定性等の基本特性の観点から本器の有用性を述べる。

○装置組込型TOCモニターの活用/(株)ティ・アンド・シー・テクニカル/榎木努
今回、超小型でウエット装置等に組込みが可能なTOCモニターを紹介する。このTOCモニターは組込み型専用に作られ、操作は装置本体の制御部とデジタル通信によって行う。操作コマンドとして状態問い合わせや測定開始/停止など、予めコマンドを用意、簡単に通信が行えるようになっている。

○高速通信プロトコルEtherCATへ対応することの意義/(株)リンテック/足立裕樹
現在、半導体製造装置で採用を検討されている次世代の産業機器用通信プロトコルEtherCATの有用性について、当社のEtherCAT対応流量計MC-5000Cを例に挙げつつ解説する。

■解説
○動的粘弾性測定によるビーズ法ポリスチレンフォームの耐熱性と断熱性
/名古屋市工業研究所/足立廣正
ビーズ法ポリスチレンフォームにおいて動的圧縮弾性率が50%低下する時間をtとしたlog tと絶対温度の逆数は直線関係にあり、昇温速度と限界温度との関係式の傾きの大きさは熱伝導率と相関がある。また、静的ひずみが大きくなるほど耐熱温度および限界温度は高くなる。

■製品と技術
○大流量対応インライン鏡面露点計/(株)東陽テクニカ/田村一
ほとんどの産業界で湿度・水分管理を必要としている。とりわけ燃料電池関連の産業にはより精度の良い湿度・露点管理が求められている。特に高露点の測定・制御を行う燃料電池評価システムにおいては水蒸気の配管内部や燃料電池内部での結露が燃料電池本体にダメージを与えたり、燃料電池の発電特性にも大きく影響を与えている。本稿では高露点の計測・制御を適切に行なう事によって燃料電池の発電特性を飛躍的に上昇させる可能性について紹介する。

○PLCを利用したデマンド監視の特長と実例/ワゴジャパン(株)/西堀元博
デマンド・電力監視においては電力消費状況を全員で把握して対応することが重要である。そこで社内LANを利用して警報LED表示灯を各所に設置した。これによって従業員の省エネ意識を高め、年間で約100万円の基本料金削減を実現した。

○無線センサネットを活用した低コストなエネルギー見える化の実現
/住友精密工業(株)/宮本哲
省エネルギーは企業活動の安定継続に欠かせない。きめ細かく、リアルタイムに低コストでエネルギーの見える化を行いたいという要望は多い。本稿では無線センサネットワークを応用して低コストを実現したエネルギー監視システムEcoWizardの概要とその事例について述べる。

○ガラス式密度計/(株)横田計器製作所/横田賢次郎
一般的には比重計と称されている浮ひょうについて記載した。浮ひょうは計量器であり、その使用例と種類について、目盛による違いで説明する。構造についてはイラストを、原理については“浮力”の違いにより、浮ひょうに目盛があること、そして検査方法についても解説する。

■連載
○PID制御系を支える周辺技術の深耕とその応用　第24回
FF/FB制御の基礎から高度化へ/ワイド制御技術研究所/広井和男
実際のプロセスでは、生産量、負荷などの外乱が変化したとき、増減方向によって特性が異なる非線形特性を持つケースがしばしばある。また、運転上の要求や安全性の確保から外乱の増減方向でFF補償の強さを指定されることも多くある。これらの特性や要求に合わせて、外乱の増減方向のFF補償の強さを自由自在に調整できる機能をフル装備した「方向性機能付きディジタルFF/FB制御」について、その目的や考え方、具体的な機能ブロック構成、効果、応用などについて詳しく説明している。

○電気の世紀へ 第105回
フェライトと発明者/松本栄寿
フェライト(Ferrite)とは聞き慣れない言葉である。現代のラジオ、テレビ、通信機器、電化製品、オーディオ、磁気テープ、フロッピー、ハードディスク、クレジットカード、スマホ、ピップエレキバンの陰にかくれた磁性体デバイスである。発明者は誰か?日本人の加藤与五郎、武井武である。

○ガス流量計測のはなし　第73回
流量計61　流量計の基礎(14)/東京メータ(株)/小林駿
「流量計の基礎(14)“超音波流量計(3)”」では、超音波式流量計のドップラ法、レーザドップラ法について解説する。ガス燈では北海道・小樽市のガス燈を紹介。コラム欄は「動物の時間と空間(3)“大人の時間と子供時間(2)”」について記す。

■製品ガイド
○面積流量計
■コラム
○技術者育成雑感(63)