日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2012年12月号 PDF版
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クリーンテクノロジー 2012年12月号 PDF版

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■特集:エアロゾル技術のさまざまな展開1
○ナノメートル粒径域における凝集粒子および非球形粒子の計測
/広島大学/荻 崇・奥山喜久夫
ナノ粒子のガス中での存在形態は、凝集体で複雑な非球形粒子として存在することが多い。ここではガス中のナノ粒子の計測法、非球形粒子の特性と挙動の評価、ナノ粒子凝集体のオフラインおよびオンライン計測による形態および空隙率の計測について述べる。

○3-モーメントビン法モデル/気象庁気象研究所/梶野瑞王
大気エアロゾルの集合を粒径方向に離散化して動力学過程を解くビン法では質量と数を保存させる2-モーメント法が現在の主流である。筆者は、特に凝縮成長過程における表面積の重要性に着目し、表面積も保存する3-モーメント法を開発し、その有用性を証明した。

○近年における全球エアロゾル輸送モデル/(独)国立環境研究所/五藤大輔
スーパーコンピュータのような高性能計算機が発展してきたことで、大気中に浮遊するエアロゾルの地球規模でのシミュレーションは、高精度・複雑化が進み、高いレベルでの議論が行えるようになってきた。

○微小粒子の粒径、化学組成の計測と応用/(独)国立環境研究所/高見昭憲
大気中を浮遊する粒子状物質の発生や化学組成、及び、粒径分布、個数濃度、化学組成、混合状態など測定法の概要を説明した。さらに、エアロゾル質量分析法を用いた離島での観測結果を示し、微小粒子状物質の越境輸送について解説した。

○大気圧下でのナノ粒子分級技術と活用事例/日本カノマックス(株)/加藤孝晴
不織布のフィルタを用い、ろ過速度をコントロールすることによって、ナノ粒子を分級するための特許技術と、この技術を用いて製品化を行った、大気圧下でナノ粒子をサンプリングできる『ナノサンプラ』の特長と計測事例を紹介する。

○放射性エアロゾル計測と粒径情報の重要性
/(独)放射線医学総合研究所/山田裕司・福津久美子
放射性エアロゾルとは、どのようなエアロゾルであるのか。放射性であるために、一般のエアロゾルの計測法とどの点が同じなのか、あるいは異なっているのかを実例を紹介しながら説明する。また、エアロゾルの性状の中でも、粒径が何故、特に重要なのかについても触れる。

○ハードディスクドライブ(HDD)のコンタミネーションコントロール
/(株)HGSTジャパン/大瀧哲也
ハードディスクドライブの高容量化に伴い、磁気ヘッド素子部近傍の浮上量(隙間)は2nm前後に達している。HDDに使用される部材、HDD製造工程は、ナノメートルオーダーで付着するような、極微量のコンタミネーションにも配慮した設計が重要となる。本稿ではHDDで問題となるコンタミネーションを概説し、コンタミネーションの評価・分析技術およびその対策を中心に紹介する。

○半導体生産工程における液中粒子の測定・管理/リオン(株)/近藤郁
先端の半導体生産工程における汚染物質管理として、液体中の粒径50nm以下の粒子濃度測定は必須となっている。そのような市場要求に対応する液中パーティクルカウンタの粒子検出性能と測定値の信頼性評価の現状と課題を述べる。

○宇宙船内における空気系生命維持技術と将来動向
/(独)宇宙航空研究開発機構/桜井誠人
将来の有人宇宙活動に必要となる技術の開発・実証が大きなテーマとなっている。その技術開発の中で、生命維持技術(水・空気再生)が優先順位の高いテーマとして集中的に検討されている。本稿では宇宙船内における空気系生命維持技術と将来動向について述べる。

○病室環境を想定した除菌空調システムの研究
/戸田建設(株)/栗木茂・曽根原努・新宮守/北里大学保健衛生専門学院/鈴木達夫・山口聖子
/北里大学北里研究所メディカルセンター病院/小林憲忠
/マイクロウェーバー(株)/奥野信幸/
サムスン電子(株)/朴來垠
「トリオシン」というヨウ素による殺菌技術を用いた空調用フィルタと「イオン発生機(S-Plasma ion)」の二つの除菌技術を組み合わせた除菌空調システムを考案し、黄色ブドウ球菌を指標とした除菌空調システムの性能評価実験において、除菌能力を確認した。

■連載:わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策5
○塵埃・ミスト(その3)/新日本空調(株)/水谷旬
■業界情報
○SEAJ EHS部会 安全専門委員会の活動事例報告/理研計器(株)/佐藤裕之
■製品紹介
○さまざまな機器へ機能部品として組み込まれた新しい門番
/小松電機産業(株)/川中学
○クリーンルーム用可視異物検査シート
/NTT-ATクリエイティブ(株)/後藤仁/(元)福井工業大学/浅田敏勝

◆「セミコン・ジャパン2012」の見どころ

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