日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2012年9月号 PDF版
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L1209

クリーンテクノロジー 2012年9月号 PDF版

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■特集:安全ガイドラインと各社の地震対策
○地震保護に役立つSEMI安全ガイドライン
/大日本スクリーン製造(株)/西口直克
製造装置のための安全ガイドラインである、SEMI S2、S26の地震保護設計について、その要点を、一般的な考え方、設計計算上の要求指標、ユーザーへの情報提供、要求指標を超える場合の対処を通じて、製造装置を設計する上で最小限の安全上考慮すべき内容を解説する。

○地震対策に役立つSEMI安全ガイドライン
/(株)竹中工務店/山中一克・相原永
SEMI S17は「無人搬送台車(UTV)システム安全ガイドライン」で、第10章と付属書1に地震対策の規定がある。米国のFEMA450をベースに、日本の耐震基準と整合させ、地震後も機能する重要性の高いグレード設定になっている。

○地震対策に役立つSEMI安全ガイドライン
/東京エレクトロン(株)/井深成仁
震災では、不幸にしてクリーンルームへの外気の流入、機器の損傷、配管の破損等による化学物質の漏洩等により、クリーンルーム自体や機器が汚染される場合がある。SEMI S12は機器の汚染を除去し、再利用を可能にするためのガイドラインであるので、紹介する。

○富士通セミコンダクターグループでの地震対策ケーススタディ
/富士通セミコンダクター(株)/森上一哉
当社グループの前工程、後工程の製造拠点においては、2003年5月の三陸南地震以降、大規模の地震による被災によってその都度の教訓を活かした地震対策を進めてきており、本稿では当社グループが進めてきた地震対策の概要を報告する。

○半導体製造装置の地震対策/東京エレクトロン(株)/渡辺伸吾
2011年3月11日に発生した東日本大震災において、東北に所在する当社の事業所も被災したが、その経験を基に半導体製造装置の耐震設計、固定方法に関する当社の考え方およびSEMI S2 19章:地震保護の指針に言及する。また半導体製造装置の免震システムに対する当社の取り組みとその効果を紹介し、併せて東日本大震災における当社事業所(工場)の被害状況と耐震対策を報告する。

○建設会社の立場からのケーススタディ/(株)竹中工務店/山中一克
昨年の東日本大震災や過去の大地震での被害事例より、建設会社の立場から工場で想定される地震被害の特徴をまとめ、非構造部材まで含む工場施設全体の地震対策を耐震ガイドラインと事業継続の観点も交えながら紹介する。

○電源障害対策による生産システムの安定稼動/オムロン(株)/林昭
生産現場ではさまざまな電源障害が発生している。近年発生した未曾有の自然災害により、災害時を想定したバックアップ体制の構築が必要とされてきている。生産現場における無停電電源装置(UPS)を用いた電源障害への対処方法をいくつか紹介する。

○総合地震防災システム/清水建設(株)/大山俊雄
「緊急地震速報」は、2006年8月1日より本格運用が開始された。当社では、早くから気象庁の利用実験に参加しながら、独自の伝達システムや被害予測システムを構築し実際に生産施設やオフィスなどに導入している。本稿では、総合地震防災システムの構成・機能および、他システムとの連係によるより有効な地震防災のありかたについて提案する。

■解説
○加熱脱着GC/MSによる清浄度評価/アジレント・テクノロジー(株)/中村貞夫
MARKES社加熱脱着装置TD-100による清浄度評価として、汚染物質である有機物の分析手法を紹介する。チャンバーとの組み合わせで、電子部品等からのアウトガスの分析にも適用できる。

○バイオプラズマプロセスの現状と期待/群馬大学/大嶋孝之
高電圧パルス(ピーク電圧10〜20kV、半値幅数マイクロ秒)を水系に印加すると、条件を変えることで電界効果と放電プラズマを作り出すことができる。ここではそれぞれの特徴を述べるとともに、水中微生物の不活化などの応用の可能性について述べる。

○水を用いた導入外気浄化システム(エアワッシャー)の放射性物質の除去効果
/オルガノ(株)/藤田雅司・土井雄太・山中弘次
散布された水が大気中の粒子状物質の浮遊を抑制し、ガス状物質を溶解除去できる能力に着目し、フィルターの洗浄や交換が不要で、粒子状物質、ガス状物質の除去能力の極めて高い導入外気浄化システム(エアワッシャー)を開発した。本稿ではエアワッシャーの除染利用に関して放射性物質に対する除去効果を報告する。

○家電製品に付属するプラズマ装置でのウイルス不活化の有効性について
/中央大学/新谷英晴
様々な家電装置にプラズマ発生装置が搭載されウイルス不活化の達成が報告されている。本件に関しメーカー公開の技術資料、学術論文などを基に化学的側面と物理的側面から考察した。その結果フェントン反応とOHラジカルが不活化に大きく貢献する事が判明した。

■連載
○わかりやすく学べる クリーンルームの基礎と汚染対策 第2回
クリーンルームの基礎/新日本空調(株)/水谷旬
■製品紹介
○製薬工場クリ-ンルーム向け室内気圧制御システム「バリアスマートAD」
/ダイダン(株)/山口太朗・古川悠
○省エネ分析支援ソフトDr.ECO/オムロン(株)/吉田麻美
○クリーンルーム用電動アシスト台車「らくだ君」/KYB(株)/関根伸一
○食品工場のユニフォームレンタル/(株)白洋舍/須藤隆夫

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