日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2012年6月号 PDF版
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L1206

クリーンテクノロジー 2012年6月号 PDF版

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■特集:半導体産業の明日を探る
○EUVリソグラフィ研究開発センターにおけるリソグラフィ開発
/兵庫県立大学/渡邊健夫・原田哲男・木下博雄
当センターでは、極端紫外線リソグラフィ技術の基盤技術の開発、特にHp 1X nmのEUVレジスト評価・開発を目的としたEUV光による干渉露光系の開発、ならびに低アウトガスレジスト開発を目的としたin-situコンタミネーション膜厚測定系の開発を進めている。これらの研究を通じて、特にレジストおよびマスクについて極端紫外線リソグラフィ技術の基盤技術の開発を促進させる。本稿ではレジスト評価装置の開発、マスク欠陥検査装置、ならびにEUV用光学素子の評価装置の開発の開発、その状況についても報告する。

○チャックレスでのSORI・TTV測定/エスオーエル(株)/中村将之
本稿ではCorningTropel社製平面度測定機FlatMaster MSP(以下、MSPと略す)によるチャックレスでのSORIとTTVの同時測定を紹介する。MSPでは、透明なウェーハに限り、チャックを使わずにSORIとTTVを同時に測定できる。そのほかに、今まで測定できなかったことが新たに測定できる可能性をもっている。MSPの特徴と測定事例をいくつか紹介する。

○液浸技術拡張による微細化/(株)ニコン/金谷玲二
本稿では、22 nmHP以降の世代に対応できる液浸露光装置の最新技術および主要性能を紹介する。

○次世代リソグラフィ用マスクの現状と課題/凸版印刷(株)/秋間慎二
本稿では、リソグラフィ技術の延命を支えているOPC、位相シフトマスク、計算機リソグラフィや次世代露光のEUVL向けマスクの技術動向に関して説明する。

○ダブルパターニング技術による光露光技術の延命
/東京エレクトロン(株)/小山賢一・八重樫英民
本稿では、ArF液浸リソグラフィによる10 nm half pitchまで応用可能な多重スペーサDP技術と、ロジックパターンへの応用実証例を紹介する。

○半導体量産用LPP-EUV光源開発の現状と展望
/ギガフォトン(株)/溝口計・藤本准一
筆者らのグループは2002年以来、日本発のオリジナル技術として、炭酸ガスレーザ(波長:10.6μm)と錫液滴の組み合わせ、ダブルパルス照射によるパルス炭酸ガスレーザ光の錫の高効率イオン生成、錫イオンの磁場による捕捉と排出、必要最小量の錫液滴生成技術を組み合わせてこのボトルネックを解消し、世界初のブレークスルーを実現しようと挑戦している。本稿ではその技術の概要と最新のデータの紹介および将来の展望について解説する。

○協同インターナショナルの洗浄ソリューション技術
/(株)協同インターナショナル/湯川弘之
現在広く使用されているいくつかの洗浄方法だけでは解決困難な最近の多様な洗浄ニーズがある。本稿ではこうした問題の解決策として、奇抜な発想や当社が得意とするドライアイスブラスト\洗浄を応用して色々な課題を解決するために考案した洗浄方法や、単に洗浄目的だけではなくランニングコストダウンを視野に入れた修理・再生を目的とした洗浄ソリューションについて紹介する。

■解説
○微弱放射線のモニタリング技術/金沢工業大学/南戸秀仁
本稿では、現在問題となっている放射能汚染により発生している微弱な放射線をどのように計測したら良いか?また計測に使用する放射線量計はどのようなものか?原発等で働く作業従事者の放射線被ばくはどのようにしてモニタリングするのか?など微弱な放射線のモニタリング技術について言及する。

○プラズモンアンテナ型分子センサによる極微量有機ガスの検出
/早稲田大学/柳沢雅広
電子機器から発生する揮発性有機化合物(VOC)を、超高感度、低コストかつ簡便に検出できるセンサを開発した。本センサは照射光から励起されるセンサ表面の表面プラズモンを集中させ\るプラズモンアンテナ構造を有し、表面増強ラマン散乱によりppbレベルのVOCを検出できる。

○放射性物質で汚染されたエアフィルタ/藤田保健衛生大学大学院/下道國
福島原発事故で放射能汚染されたエアフィルタの交換作業時の作業者の安全確保と交換フィルタの一時保管の推奨、並びに交換作業現場の放射線量測定と線量レベルによる作業区分、およびフィルタの汚染度の簡易測定法を提示した自主管理に資すためのガイドラインを紹介する。

○室内空間における微生物対策の効果を定量的に検証/清水建設(株)/山口一
本稿では、室内環境の微生物対策法とこれら対策法を定量的に検証するための手法を総括的にまとめた。更に、著者らが開発したバイオロジカルインジケーター(BI)とCFDを用いた薬剤積分値(CT値)による手法を紹介する。この手法を用いれば、種々の条件の対象室における微生物効果が予想できる。

○バイオハザード対策用防護服材料の性能評価
/国立感染症研究所/篠原克明・嶋崎典子
バイオハザード対策用防護服の使用に際し、使用者がリスクに応じた適切な防護具と防護服を選別し使用することを可能にするために、防護性能を科学的に評価する必要がある。本稿では、防護性能評価のための試験方法とその結果の一例について解説した。

○医療施設における電磁環境計画技術の開発/大成建設(株)/遠藤哲夫
建物に落雷があった場合の電気的事象を定量的に把握することができる雷電磁界シミュレータを紹介し、その解析精度実験の結果を示した。さらに、重要機器に対する雷電磁界のリスクが考えられる場合の建築的対策技術として、雷電磁バリアについて述べた。

■製品紹介
○クリーンルームの省エネ事例/オムロン(株)/齋藤宏
○安定した研究・生産活動を支える空調設備
/ダイダン(株)/山口太朗・古川悠

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