■特集:クリーンルームの付帯設備と省エネルギー
○総論:クリーンルームの付帯設備と省エネルギー/東芝 セミコンダクター社/大下繁之
半導体クリーンルームの省エネを展開する上で、付帯設備の省エネは、生産装置への安定供給とともに重要度を増している。その解決には、動力施設・生産装置メーカ・半導体メーカ間の三位一体の協力が最重要である。
○超純水製造設備と省エネルギー/オルガノ/川田和彦
超純水製造設備は、イオン交換装置や逆浸透膜(RO)装置を中心に構成されている。超純水水質の維持管理のためにモニタ計器とサンプリングを組み合わせて評価をしている。超純水製造設備では、使用された超純水の回収・再利用を積極的に行っている。
○省資源・省エネルギー型排水処理設備/オルガノ/清水和彦
半導体工場のクリーンルームから排出される排水および廃液の処理方法について紹介する。有機系排水は省エネルギー性の高い生物処理について、フッ酸系排水は高効率な凝集沈殿やフッ素回収を達成する晶析装置について紹介する。
○生産装置用冷却水設備と省エネルギー/日立プラントテクノロジー/小西俊一
半導体設備における生産冷却水設備は、半導体製造装置の稼働に必要欠くべからざる重要な設備である。設備を構成する装置・機器を紹介するとともに、省エネ対策としてフリークーリング手法、省エネガイドで推奨されている32℃化の概要を、事例を含め紹介する。
○薬品供給設備と省エネルギー/関東化学エンジニアリング/斎藤 誠
ウエーハ洗浄やエッチング工程で使用される薬品を供給する設備は、大型化に伴い「集中供給設備」へと発展している。本稿では、初期投資の低減化対応も含めていくつかの項目について述べる。
○ガス供給設備と省エネルギー/大陽日酸/並木智雄
半導体、液晶、太陽電池向け産業ガス供給設備の最近のトレンドは、超高純度ガスの安定かつ安全な供給から、コスト削減、法令遵守、さらには地球環境保全の観点より、省エネを考慮したガス供給設備に移行しつつある。本稿ではその設備と省エネについて概観する。
○排ガス処理設備と省エネルギー/大陽日酸/冨田雅浩
代表的な排ガス処理装置の原理・特長・概要を紹介するとともに、最新の排ガス処理システムの紹介を中心として、そこで取り組まれている省エネルギー、省ユーティリティ対策の現状について述べる。
■コーヒーブレイク
○サムスン恐るべし!(6)/服部 毅
■解説
○半導体デバイスのトレーサビリティ/エイデム/大和田敦之
平成22年には、種々の障害を克服してLSIなど半導体製品のトレーサビリティシステムが稼働する事を期待している。その為にITが駆使されるであろう。IDの書込みはチップに直接刻印するダイレクトマークである事が肝要である。課題は、システムが稼働しICの偽物が駆逐される事である。
○超臨界フッ素化合物を用いた洗浄・乾燥技術/NTTアドバンステクノロジ/生津英夫
常温・常圧で液体であるフッ素化合物を用いた超臨界洗浄・乾燥技術について論述した。二酸化炭素同様パタンにダメージを与えない超臨界乾燥が可能であるとともに、レジスト除去とエッチング残渣(ポリマー残渣)を行うことが出来ることを実証した。
○低湿度ケミカルクリーンルームの性能検証/清水建設/梶間智明
2007年春に建設した新しいクリーンルーム実験施設の機能の一つに、低湿度とナノレベルのケミカルクリーン度を兼ね備えたスーパーナノクリーンルームがある。本稿では、このクリーンルームの除湿性能とケミカルクリーン性能を検証した結果について解説する。
○検知管法による微量有機酸測定/光明理化学工業/三枝正吾・本間弘明/鹿島建設/武廣絵里子・涌井 健
文化財保存施設やクリーンルームにおいて、酢酸・ギ酸などの有機酸による空気質汚染が問題視されている。これら有機酸の簡易測定法として、検知管による微量有機酸の測定手法を開発した。実際の美術館や建材を対象に実証実験を行った結果、本法の実用性・有効性が確認された。
■製品紹介
○次世代TOC計への挑戦/ティ・アンド・シー・テクニカル/矢作 昇
○中小型クリーンルームシステム「MSCR」/大林組/宮原英男
○クリーンルーム用高機能クリーンクロス/エービーシー商会/堀田一弘
■基礎講座:進化するプリント配線板とクリーン化技術入門 4
○プリント配線板の要素技術とクリーン化/小林技術事務所/小林 正/長谷川技術事務所/長谷川堅一
■連載:半導体製造装置の新たなクリーン化の課題 5
○プラズマ中のパーティクル挙動と制御/東京エレクトロン/守屋 剛・松井英章
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