/日本工業出版(株)/

■特集:非接触三次元計測の最新動向
○光三次元計測技術の現状と課題/埼玉医科大学/吉澤 徹・若山俊隆

光学的あるいは電気的エレメントやデバイス類に関する要素技術の進歩は著しく、単に機能が高度化したというだけではなくて、その寸法や重量が小型化、軽量化していることが最近の特徴である。こうした要素技術の発展に支えられて三次元計測技術は新しい発展期を迎えた。

○光干渉法による透明膜の三次元形状測定/東レエンジニアリング/北川克一

光干渉法による表面形状測定装置をベースに、独立透明膜、あるいは被覆透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布を同時測定する技術を開発した。プラスチック・フィルム、レジスト膜、半導体CMP薄膜などの測定例を紹介する。

○TOF(Time of Flight)方式による三次元画像距離カメラ/日本クラビス/上薗 勉

従来のステレオ方式やレーザースキャン方式と代わり、最近注目を浴びているTOF方式で距離を測定する原理と、スイスMESA Imaging社が新しく開発した第4世代の画像距離センサーを搭載した新製品三次元カメラ「スイスレンジャー SR4000」の新機能と特徴を紹介する。

○磁気方式による三次元位置計測センサー/極東貿易/平手友雄

三次元空間の中で、ある特定点の位置を計測する方法として米国POLHEMUS(ポヒマス)社製磁気式3D位置センサーを紹介。他方式と比較した運用上のメリットや、磁気3D位置センサーを用いた同社製の3Dレーザースキャナーについても応用例として解説する。

○フェムト秒レーザによる遠隔高精度三次元形状計測システム/アルネアラボラトリ/セット・ジ・イヨン

先進のレーザー3D形状計測システムを紹介する。同システムは産業用の3D形状測定アプリケーションに注力して企画されたものである。

○PCベース 最新2眼ステレオカメラ/ビュープラス/木所郁夫・桑島茂純

次元計測ステレオカメラBumblebee 2/XB3は、世界で初めてPCベース ステレオビジョンカメラを開発したPoint Grey Research社のカメラである。IEEE-1394デジタルインターフェイスを採用した高速データ転送、キャリブ レーションフリー、高精度距離計測、ステレオライブラリなどBumblebee 2/XB3の特徴と活用事例を紹介する。

○マルチコノスキャナとナノコノプローブ/オフィールジャパン/波多野雅也

コノプローブの特徴を遺憾なく活かした装置であるマルチコノスキャナ、従来はコノプローブでは測定することのできなかった物を測定化することに特化したナノコノプロープを紹介する。

○白色光スキャンニング干渉方式に拠るワーク測定の自動化/ザイゴ/渡邉眞太郎

近年、メタル部品の表面形状・粗さ測定において、接触式測定機から非接触測定機への転換が増加傾向の中、光干渉を利用した顕微鏡タイプの原理・仕様と測定事例、更に測定の自動化について紹介する。

○液晶格子による光切断を用いた三次元形状計測/フジ・オプトテック/藤田宏夫/東京農工大学/水谷康弘・大谷幸利/埼玉医科大学/吉澤 徹

ストライプ型液晶格子で作成したマルチスリット光を電気的に走査する構成で、光切断式三次元形状計測システムを構築した。液晶格子を用いることで強度分布や格子ピッチが自在に可変でき、マルチスリット化することで高速計測を可能にした。

○AUTO 3D STATION NET05/ソキア/永井勝之

三次元計測システムMONMOSは、広範囲の計測点を非接触で高精度に測定できるという特徴がある。高精度化や省力化できる機能の追加が行われたNET05をMONMOSのセンサーとして新たに開発したので機能・性能について紹介する。

■製品特集:今注目のレーザー製品～最前線を探る～2
○グリーンレーザモジュール/高知豊中技研/小笠原将士

レーザ市場は拡大の一途にあり、さまざまな分野においてなくてはならない存在となっている。特に製造分野におけるレーザの利用は、製品の品質や効率化を支えるツールの一つとして重要な役割を担っている。中でも近年固体グリーンレーザモジュールは、本報文で説明される特徴において評価され一般的に広く利用されている。

○レーザ用ビームデリバリーシステム/ガデリウス/大畑 章

米国レーザーメカニズム社のレーザー切断向け部品はモジュール構成になっており、顧客ごとに最適なソリューションの設計が可能である。同社の基本的な製品群について紹介する。

○液浸ダブルパターニング露光対応の最新ArFエキシマレーザ/ギガフォトン/松永 隆

ギガフォトンでは、ダブルパターニングに対応した第4世代ArFエキシマレーザGT62Aを開発した。本装置に織り込まれた、90W出力を始めとする高性能化技術と、ダウンタイム、ランニングコスト低減のための新技術を紹介する。

■製品技術紹介
○レーザプローブ式(ポイントフォーカス法)による表面性状測定/三鷹光器/三浦勝弘