/日本工業出版(株)/

■特集:MEMS分野の最新動向
○MEMS分野の動向
/(株)メムス・コア/江刺正喜
本稿では、半導体微細加工をベースにシステムの鍵を握るセンサ等を作るMEMSの動向について紹介する。多様な知識と一連の装置で様々なニーズに応えるため、開発がボトルネックでビジネスは容易でないがその工夫を紹介する。

○試作コインランドリにおけるデータ収集・利活用
/東北大学/戸津健太郎
本稿では、MEMSをはじめとするデバイス開発のためのオープンな大型研究開発施設である東北大学試作コインランドリのこれまでの活動と、新たな取り組みであるプロセスデータの収集と今後の利活用について紹介する。

○マイクロマシンセンターの活動の歩みと今後の展望
/(一財)マイクロマシンセンター/長谷川英一
マイクロマシン/MEMS等の研究開発を行うとともに内外交流、標準化、人材育成、ミニファウンドリの提供などの環境整備活動を通じて、30年以上に亘りわが国MEMS産業の発展に寄与している。

○球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造とその応用
/ボールウェーブ(株)/竹田宣生
デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)による球面マスクレス露光装置を用いて、直径3.3 mmの球体上に微細パターンを露光し、ボールSAWセンサを製造した。本稿では、このセンサを検出器とした超小型可搬ガスクロマトグラフも紹介する。

○3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築
/京都大学/平井義和・他
創薬スクリーニングにおける従来の前臨床モデルの代替法として、生体模倣システムが注目されている。本稿では、マイクロ加工技術で作製した生体模倣システムを細胞アッセイや疾患のメカニズム解明へ応用した研究例を紹介する。

○異分野で頼られるMEMS技術
/東京都市大学/藤田博之
MEMS技術の進歩により、異分野の研究者が既存技術としてMEMSを使いこなす時代になった。光、化学、熱の基礎からロボットや情報通信の応用まで、MEMSを用いて新規の原理実証や機能実現が可能になる。

○立体サンプルの加工をフォトリソグラフィで可能にする潜像法
/豊田工業大学/佐々木実
本稿では、平凸レンズなど立体に微細パターンを転写する技術を紹介する。レジスト膜を、基材ではなくシート状の固体として用意し、立体に貼り付ける点が新しい。

■特集:エアフィルタの最新動向
○エアフィルタのバイオ除染に関する動向
/ニッタ(株)/茂田 誠・他
本稿では、無菌環境の構築・維持のために使用されているエアフィルタの過酢酸蒸気(VPA)を用いたバイオ除染に関して動向をまとめて紹介する。

○HEPAフィルター付薄型空気清浄機におけるクリーンモニターによる省エネ自動制御システムの検討
/日本エアーテック(株)/岡本 守
簡易的なクリーンモニターの清浄度信号を基に、HEPAフィルター付薄型空気清浄機の自動清浄度調節制御を行うことで、省エネ化を実現できるか検証を行った。今回の検証例では、40%以上の省エネ効果を確認できた。

○高濃度エアロゾルへの光散乱パーティクルカウンタの適用
/(株)パーティクルプラス/水野眞人・他
本稿では、市販のシースエア・パージエアを用いない新しい構造の光散乱セルを採用したOPCを多分散高濃度エアロゾルに適用し、コインシデンスロスの測定結果への影響についての検討を紹介する。

■解説
○半導体プロセスにおけるCMP技術の適用
/九州工業大学/鈴木恵友
今後、CMPにおいてはパワー半導体の普及にともないSiC、GaN、ダイヤモンドなどの難加工材料を如何に効率的に材料除去する手法を確立していくとともに、シリコン半導体におけるフロントエンドプロセスの微細化への適用やバックエンドプロセスにおける高効率研磨を如何に低コストで実現させるかなどに、適用させていく必要がある。本稿では、CMPの研究を通して感じているCMPの現状と課題について紹介する。

○家庭用空気清浄機の汚染物質除去性能の実態
/東北文化学園大学/野崎淳夫
空気清浄機の国際試験法の制定作業が進み、IEC63086-1が制定され、試験室などの一般事項が公示された。現在、粉塵、ガス、微生物試験の子細が検討されている。本稿では、この動向を踏まえ、市販空気清浄機の汚染物質除去性能をCADRで明らかにした。

○オゾン水によるSARS-CoV-2の不活化機構の新展開
/摂南大学/中室克彦
本稿では、オゾン水によるSARS-CoV-2の不活化機構において、感染成立に必須のスパイク(S)糖タンパク質中アミノ酸残基に対する酸化的攻撃によるACE2受容体の結合阻害が、SARSCoV-2不活化に寄因することを解説する。

○再生医療の細胞培養加工施設(CPF)の計画
/ダイダン(株)/多田光輝
再生医療等製品は生きた細胞を用いた製剤である。一方で、現状は直接人が細胞操作という重要工程を行うため、製造施設では厳重な衛生管理が行える構造設備が必要である。本稿では、これらの点を踏まえ細胞培養加工施設を計画する上での留意点等について紹介する。

○雪を中心とした地域循環産業モデル
/(株)雪屋媚山商店/本間弘達
北海道美唄市において1997年より産学官が雪冷熱エネルギーの利用研究を進める「美唄自然エネルギー研究会」は、「ホワイトデータセンター構想」(WDC構想)を2008年に提唱。それから2021年に(株)ホワイトデータセンターが設立し、事業化を進めている。本稿では、これらの事業背景や概要、WDC構想の現状や今後の計画などについて紹介する。