/日本工業出版(株)/

■特集:光学薄膜技術の現状と各社の取り組み2
○光学薄膜の各種評価と実例
/東海大学/室谷 裕志
光学薄膜では分光特性だけでなく、それ以外の特性(外観品質、機械的特性、応力など)についても年々重要になると共にその規格も厳しくなってきている。本稿では、膜の外観品質の評価方法や評価例について紹介する。

○狭帯域バンドパスフィルタの成膜とその測定方法
/(株)オプトクエスト/安田 誠司・渡邉 正行
バンドパスフィルタは、半値幅が狭くなると波長面内分布の影響で透過損失が増加する傾向にあることは知られている。本稿では、今回、波長面内分布が0.04 nm/mmに収まるバンドパスフィルタの成膜に成功したので、その測定方法と合わせて紹介する。

○薄膜データ活用のツール
/サイバネットシステム(株)/雪田 俊平・大橋 祐介/大塚電子(株)/岡本 宗大
本稿では、顕微分光膜厚計OPTMによる薄膜の測定時間や精度、実際の測定事例を紹介し、その測定結果が光学シミュレーションツール(結像解析や照明解析)でどのように利用できるのかについても紹介する。

○さまざまな機能を付加した光学薄膜
/伊藤光学工業(株)/三輪 俊夫・神谷 雅男
光学薄膜は幅広い分野で用いられており、製品用途によっては光学機能だけにとどまらず、他の機能も複合的に要求される。本稿では、高透過機能に加え、防汚機能、防傷機能、防塵機能を付加した光学薄膜について紹介する。

○樹脂基板への成膜プロセスと成膜装置の現状
/(株)昭和真空/加藤 昌弘
昨今、イメージセンサーの普及に伴い小型カメラモジュールの用途は拡大している。その多くは樹脂レンズが採用されている。そのレンズの両面には、反射防止膜(AR:Anti Reflection Coating)が成膜されるのが一般的である。AR膜は、高屈折材料と低屈折材料を交互に6〜10層程度積層し、これを低温で成膜する必要がある。本稿では、樹脂レンズへの成膜プロセスとその成膜装置の現状について紹介する。

○粒子投射エロージョン試験(MSE試験)による光学薄膜評価への適合
/(株)パルメソ/松原 亨
光学薄膜の強さ評価において、単層膜、多層膜、界面そして基材などをそれぞれ個別に、または連続した分布として測る技術のニーズがある。新たに開発したMSE試験はそのニーズを満たすデータを取得できる。本稿では、本技術の試験原理の解説と、強さ分析評価事例を紹介する。

○光学薄膜の分光特性検査装置
/(株)日立ハイテクサイエンス/堀込 純
光学部材に様々な機能を施す光学薄膜は、今後の光エレクトロニクス産業の発展に欠かせない技術の一つである。本稿では、光学薄膜の重要な指標である分光特性の測定に対応した分光光度計の基礎と原理・応用事例を紹介する。

■解説
○ニューラルネットワークを用いた固有値変調信号の復調
/大阪大学/三科 健・久野 大介・丸田 章博
我々の研究グループでは、ニューラルネットワーク(ANN)を用いた固有値変調信号の復調方法の提案・実証を行っている。本稿では、固有値変調方式、ANNを用いた復調技術とその汎化性能について紹介する。

○空間直交振幅変調を用いたホログラフィックメモリにおける非干渉型信号光検出法
/福岡大学/文仙 正俊
ホログラフィックメモリの大容量化技術の一つとして、信号光強度に加え位相も二次元変調する空間直交振幅変調が期待されている。本稿では、空間直交振幅変調信号光を強度輸送方程式法によって検出する手法を紹介する。

○ハイブリッド・オートコリメータ技術と応用
/DUMA OPTRONICS LTD./OREN AHARON/PLX Inc./Itai/Vishnia
オートコリメータの光学機器としてのコンセプトは、すでに1世紀前に正確かつ非接触の角度測定技術として確立され、以来、光学素子の角度測定や位置合わせに使用されてきた長い歴史がある。一方、今日のフォトニクス開発では、より新しい、高機能な光学系とレーザーの位置合わせおよび測定技術が求められる。本稿で紹介する新しいハイブリッド・オートコリメータ技術は、従来のオートコリメータ技術に種々の新しい技術を搭載し、産業用途を含む最新のアライメントセンシングやメカニカルな位置合わせなどへの応用を実現したものである。

○光の回折を利用した表面ひずみ計測
/東京工業大学/田口 諒・宍戸 厚
近年フレキシブルエレクトロニクスが急速に発展し、高分子フィルムの湾曲に伴う表面ひずみの定量解析の重要性が増している。本稿では、筆者らが開発している表面ひずみ測定手法とフレキシブル電子デバイス開発への取り組みについて紹介する。

○操作の自由度が高いレーザ加熱加工装置
/浜松ホトニクス(株)/松本 聡
近年、レーザー加熱技術が注目を集めている。今まで困難であった加工状態のモニタリングを実現するレーザー加熱システムにより、ユーザーの操作自由度を大幅に向上し、この技術の普及を促進したいと考えている。

■製品技術紹介
○軽量で広範囲に対応できるレーザー洗浄装置
/(株)アストロン/大竹 祐吉

○高精度ファイバーレーザー加工機
/(株)光響/山形 遼・住村 和彦

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