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■特集:半導体プロセスにおける最近の液体極微小流量計測
○最先端半導体製造における Brooks Instrument QUANTIMの応用例
/ITWジャパン(株)/ブルックスインスツルメント/荻尾卓也
Brooks Instrumentコリオリ式流量QUANTIM.シリーズは、これまで液体流量の微小計測・精密制御が求められる様々な産業において実績を残している。本稿では、特に最先端半導体デバイスでの応用例について、その製品概要とともに紹介する。
○極微小面積式流量計
/コフロック(株)/山本 明
当社は60余年にわたり「流体を科学する」をモットーに、創業時からの製品である精密面積式流量計及び精密ニードルバルブを製造、国内外に販売している。極微小の液体・ガスの計測・制御で半導体業界や一般産業に貢献している、これら製品の特長や使用時の注意点を紹介する。
○超音波流量計ES-FLOW™ & 熱式マスフローLIQUI-FLOW™ miniシリーズ
/ブロンコスト・ジャパン(株)/黒田 誠
コリオリ式mini CORI-FLOW™シリーズでカバーできない極微小流量レンジ、圧力条件をフォローするラインナップとして、新製品:超音波流量計ES-FLOW™と、コリオリよりも以前から微小流量液体測定&制御に用いられてきた熱式マスフローLIQUI-FLOW™ miniに関しての紹介する。
○コリオリ式マスフロー mini CORI-FLOW™シリーズ
/ブロンコスト・ジャパン(株)/黒田 誠
mini CORI-FLOWは微小流量液体&気体流量測定&制御のオンリーワンマスフローメーター&コントローラーとして、市場から強い支持を得ている。微小流量レンジにフォーカスした独自戦略から開発されたこのコリオリ式マスフローと、そのアプリケーションに関して紹介する。
○CMOSensを用いた液体微小流量計測
/センシリオン(株)/井上敏夫
当社独自のCMOSens®テクノロジーは流路に対して非接触にもかかわらずul/min、さらにnl/minレベルの微少量流量を測定することができることから、液体の流量監視、体積量測定を重要視する生産工程、検査機器、医療機器などの分野において、精度の高い流量測定が可能であることを紹介する。
○液体用マスフローメータ・コントローラ
/(株)堀場エステック/田村憲彦
半導体プロセスの微細化に伴い、ガス流量・液体材料の供給量に対する高精度化や信頼性向上への要求が高まっている。当社は、液体用マスフローメータ・コントローラ:LF/LVシリーズ、XFシリーズを販売しており、現在も最先端プロセスに採用されている。本稿では、これら製品の特長について紹介する。
■製品と技術
○IoT、無線を活用した監視・計測システム
/渡辺電機工業(株)/櫻井桂太
本稿では、無線センサネットワークやIoT対応機器を活用した、遠隔監視ソリューションとその特長を紹介する。
○高精度な非接触型変位センサにおける課題とその解決方法
/オプテックス・エフエー(株)/南部竜介
本稿では、ものづくり現場の品質管理用途においてニーズが高まりつつある非接触型レーザ変位センサの原理と課題、用途など、最新の技術情報について紹介する。
■連載
○ガス流量計測のはなし 第113回
流量計101 ガスメータの基礎(19)
/東京メータ(株)/小林 駿
今回の「ガスメータの基礎」は、地球温暖化を抑制する水素社会への対応として、家庭で使う水素ガスメータや流量計の可能性調査結果報告の第1回のリポートである。ガス燈は、横浜市山手十番館のガス燈を紹介する。
○マスフロー千夜一夜物語 第40回
/EZ-Japan/黒田 誠
「質量流量計」に分類される流量計には、熱式流量計とコリオリ式流量計がある。本稿では、「質量流量と体積流量とは?」から始めて、液体流量計としての熱式とコリオリ式の各々の測定原理と特長から導き出される液体流量測定アプリケーションを紹介する。
○AE(アコースティック・エミッション)の基礎 第12回
/八戸工業大学/武藤一夫
本稿と次回の二回に分け、著者らが開発してきた広帯域型AEセンサ等を用いて、チップマウンタ用1軸駆動ユニットのセンシング事例に続き、試験時に発生する超音波とAE信号について比較し、AE検出の優位性について紹介する。
○EPO公開特許明細書の読み方6
フランス語編第6回(最終回)
/藤井定美
EPCとはEuropean Patent Conventionの略号で、ヨーロッパ特許条約のことである。本稿は、数は少ないが、主としてフランス語圏から出されているフランス語による公開特許の公報の読み方を、フランス語に不慣れな技術者のために、出願されている技術は極めて限定されるが、一つの公報を例とし6回に分けて解説する最終回である。
○食品のトレーサビリティ 第18回
/食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会/大野耕太郎
グローバル企業の食品トレーサビリティへの取り組みに見るとき、企業の社会的責任は左スティーナビリティへと大きく変化している。企業の信頼性を担保する為の情報の信頼性や透明性への要求はますます高まるであろう。それはテクノロジーの革新により情報高度化している社会全体の要求となる。その技術基盤たる管理責任を政府も責任を持つ構想をし始めた。食品トレーサビリティの機能は社会インフラとなって安全・安心を寄与してこそその役割を果たせる。いま基盤技術たるIoTが社会全体に及ぼす影響を考え、技術の標準化について考える時ではないか。
■コラム
○第18回 ロボット技術で変わる戦争の姿、操る兵士だけが安全に
/山崎弘郎
■製品ガイド
○面積流量計
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