/日本工業出版(株)/

■特集:ソフトウェアセンサー
○ソフトセンサーとその逆解析を利用したフィードフォワード制御手法の開発
/東京大学/船津公人
プロセス産業では製品の品質改善や生産性の向上が求められており、そのためには設定値変更や外乱に対して迅速かつ安定に制御を行わなければならない。我々は日常の運転データから得られる情報を利用してより効率的なプロセス制御を行うことを目的として、ソフトセンサーモデルとその逆解析を利用した制御手法であるinverse softsensor-based feed forward制御法(ISFF)を提案した。

○プロセスシミュレーションを活用したソフトセンサ設計
/アズビル(株)/佐々木亨・中尾圭佑
推定対象の実測値が質・量共に乏しい場合、信頼性あるソフトセンサは得難い。当社ではプロセスシミュレーションにより推定対象の参照値を生成、これを統計解析する手法で実測値が乏しい対象にもソフトセンサを設計し、高度制御に使用しその有効性を確認した。

○プラント制御におけるデータ分析技術
/富士電機(株)/村上賢哉・松井哲郎
IoT技術の進展により多数のセンサデータを活用できる環境が整う中で、高度なデータ解析技術の開発が進んでいる。本稿では当社の主成分分析による異常検知技術とそのバッチプロセスへの適用、部分的最小二乗法による品質推定とそれを用いた品質改善技術とその活用事例について述べる。

○ソフトセンサーと高度制御ソリューション
/横河電機(株)/山口章生
システムの構築・導入期間の短縮、保守性の向上を実現する次世代高度制御ソリューションをShellと共同開発した。ソフトセンサーと多変数モデル予測制御を中心とした高度制御のこれまでの課題とそれを解決する本ソリューションの特長を紹介する。

■製品と技術
○最新 非接触トルクセンサーによる生産装置上の管理システムの概要
/ユニテックジャパン(株)/今任悠一郎
製造ラインの品質管理に適したBurster製非接触トルクセンサ「8661」とプロセス管理装置「9307」の概要とその実例。

○原因追及・品質向上に貢献するDS-5100Bシリーズオシロスコープ新ラインアップ
/岩崎通信機(株)/長浜 竜
デジタル・オシロスコープDS-5100Bシリーズを活用した多角的な解析方法について紹介する。

■連載
○ガス流量計測のはなし 第109回
流量計97 ガスメータの基礎(15)
/東京メータ(株)/小林 駿
今回の「ガスメータの基礎(15)」では、ガスの性質、実在ガスの状態方程式、圧縮係数(因子)、ファン・デル・ファールス定数、およびその展開・ビリアル展開について述べる。ガス燈では、広島市平和記念公園のガス燈を紹介する。

○マスフロー千夜一夜物語 第36回
/EZ-Japan/黒田 誠
「質量流量計」に分類される熱式流量センサーを搭載したマスフローコントローラ(MFC)は半導体製造装置を主体にメジャーなパッケージであるが、そのブラックボックス的な扱いから、トラブルシューティングに関するノウハウが不足している。今回は特にMFC特有のトラブル事例を紐解きながら、その対処方法に関して解説する。

○AE(アコースティック・エミッション)の基礎 第9回
高周波領域でフラットな特性を持つ広帯域型AEセンサの概要
/八戸工業大学/武藤一夫
本稿は、連載記事、AE(アコースティック・エミッション)の基礎、第9回目である。従来のAEセンサにはない、いわゆる変位型のAEセンサで、フラットな特性を有する広帯域型AEセンサを1980年代から開発してきた。そこで、本稿では、そのセンサについて紹介する。

■コラム
○第13回 情報を未来に正しく伝える
/山崎弘郎

○技術者育成雑感〔117〕
/K. H

■製品ガイド
○温度調節計