A1612
■特集:半導体分野における最新の計測技術
○センサがもたらすIoT化と機械学習
/慶應義塾大学/松本佳宣
本稿では、Internet of things(IoT)時代にセンサによってもたらされる環境計測や社会の変化について述べ、IoTの構成要素であるセンサのインターフェイスと無線ネットワーク、情報処理技術を紹介する。また、これらの技術が機械学習やビックデータとどのようにつながっていくかを解説する。
○IoTに向けた三次元積層LSI技術
/東北マイクロテック(株)/元吉 真
IoT向けセンサモジュールはセンサ、信号処理IC、トランシーバ、エネルギーハーベスティングデバイス等で構成される。実装面積が小さくエネルギーロスが小さい三次元構造は理想的であるが高い積層コストが課題である。本稿ではそのコスト低減技術について説明する。
○プラズマ処理効果の可視化ツール
/(株)サクラクレパス/釆山和弘
半導体プロセスで用いられるプラズマについて、その処理効果を“色”で可視化することを特長とする新しい評価ツール「プラズマインジケータ」を解説し、合わせて実際の測定事例も紹介する。
○半導体プロセスに求められる超音波流量計
/東京計装(株)/木村義雄
半導体の市場動向、半導体のプロセス概要、半導体製造プロセスに求められる流量計とはなにかを解説する。超音波流量計の特長を紹介し、現状の課題や今後のさらなる流量計への期待について述べる。
○化学発光方式を用いたアルシンガス検知警報器
/新コスモス電機(株)/田尻典靖
アルシンを高精度かつ高速応答で漏洩検知可能なガス検知器「CLC-870」を開発した。検知原理である化学発光方式について解説し、再現性、直線性、応答速度等の機器特性から機器の有用性を述べる。
■特集:最新の遠隔監視ソリューション2
○最新のITV監視システム
/東芝ITコントロールシステム(株)/木村英人・山崎央二
ICT、IoT、ネットワークが話題となり高度化される中、監視システムも変化してきた。一つは省力化、一つは監視範囲の拡大、そして監視対象がそもそも人の立ち入りに適さないという条件の中で、従来CCTVシステムと呼ばれていたものがITVを使った遠隔ネットワークシステムになってきている。浄水場施設、ポンプ場といった水利施設を対象とした遠隔監視システムを例にその特長とシステムの留意点や課題について説明する。
○IoTを用いたため池水位監視・予測への取り組み
/(株)協和エクシオ/榊原知洋・神田敏宏
全国に点在するため池の危険性と国や自治地体の対策、センサー技術を用いたため池水位センサーの概要について解説し、事例を踏まえた現状の問題点と今後の展望について紹介する。
○GHPの遠隔監視システム
/東邦ガス(株)/谷口圭仁・清水敏春
ガスエンジンヒートポンプ(GHP)では、標準の保守サービスとして遠隔監視が導入されており、自動通報による迅速な修理対応が可能である。現在ではインテリジェント型遠隔監視アダプタの開発により、見える化、消し忘れ防止、設定温度管理等に加えて、快適性にも配慮した高度な省エネ制御が可能となっている。
○付加価値向上でアフターマーケットに差別化を実現
/クオリカ(株)/斉藤 淳
インダストリー4.0や、IoTによる「つながるものづくり」など、IoTを巡るグローバル情勢を受け、日本の製造業におけるIoT活用のポイントを考える。
■連載
○ガス流量計測のはなし 第104回
流量計92 ガスメータの基礎(10)
/東京メータ(株)/小林 駿
今回は「ガスメータの基礎(10)」の「高分子材料とガス流量計(10)」では、実験用WS型湿式ガスメータの高分子化・エンプラ化、特に計量ドラムの樹脂化・軽量化による性能・精度に関する研究開発・実験結果について述べる。
○マスフロー千夜一夜物語 第29回
質量流量計の基礎
/EZ-Japan/黒田 誠
流体を計測する重要なツール流量計。その中でも馴染みの薄い「質量流量計」に分類される熱式流量計(マスフローメータ、マスフローコントローラ)やコリオリ式流量計等にフォーカスを当て、その原理、構成から運用方法までの基礎知識の解説を行う。
○食品のトレーサビリティ 第14回
「もんじゅ廃炉」による時代の転換
/食品トレーサビリティシステム標準化推進協議会/大野耕太郎
「もんじゅ廃炉」の意味するもの。安全・環境への認識の変化、生み出された技術の転用と、それを受け入れる社会的構造変化のきざし。
○AE(アコースティック・エミッション)の基礎 第3回
/八戸工業大学/武藤一夫
連載記事、第3回目の内容は、「AEとは」をテーマにして、具体的には「AE信号とは」、「AE信号の伝搬特性」について紹介する。
■コラム
○第6回 無秩序に潜む秩序の発見が新しい道を拓く
/山弘郎
○技術者育成雑感〔110〕
/K. H
Instrumentation and Automation
■JEMIMAインフォメーション
○【新編 温度計測100のFAQ】全般
■製品ガイド
○面積流量計
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