/日本工業出版(株)/

■特集:真空関連技術の最新動向
○NdFeB焼結磁石最新動向/日立金属(株)/松浦裕
NdFeB焼結磁石はその優れた特性から自動車や家電機器の高効率化のキーとなる材料である。本稿ではNdFeB焼結磁石の高性能化と真空技術の関わりについて述べる。NdFeB磁石は多くの真空技術や装置に支えられ製造が可能となるだけでなく、NdFeB焼結磁石も、その優れた磁石特性を生かして最先端科学および真空技術の高度化に貢献してきたことが分かる。

○高温・高湿でも抵抗値変動が少ない透明導電膜/東洋紡(株)/多々見央
プラスチックフィルムに成膜された透明導電膜は高温・高湿下において抵抗値が安定しない。プラスチックフィルムに成膜された透明導電膜において、高温・高湿でも抵抗値変動を少なくさせるためには、プラスチックフィルムへの透明導電膜の付着力増加、透明導電膜の結晶性向上が効果的であることを解説する。

○エコバックシステム/(有)ベック/上村正
真空ポンプのアイドリング中に複数台のリザーバを排気しエネルギーを貯め、チャンバ排気時に複数台のリザーバと連通して圧力を下げる排気システムで、複数台のチャンバで複数台のリザーバを共用することができる新しいコンセプトの真空排気システム。

■解説
○地中熱利用ヒートポンプ技術・市場の最前線
/北海道大学大学院/長野克則
地中熱、再生可能エネルギー、ヒートポンプ、地中熱ヒートポンプ、GSHP、COPなどをキーワードに、地中熱利用ヒートポンプ技術・市場の最新動向について述べる。

○微粒子可視化装置による室内気流分布の研究(その2)
/広島工業大学/首藤治久
前報では室内気流に関する模型実験とCFD解析との比較分析に関して、その研究趣旨と概要について述べたが、ここでは実際に3つの吹出し口について行った等温吹出しと非等温吹出し(室温26℃、送風温度18℃)による室内気流に関する比較分析結果を報告する。

○進化するめっき技術/(地独)大阪市立工業研究所/藤原裕
めっきは広い産業分野における基盤技術であるが、近年、新たな技術体系・産業構造に適応して進化と呼ぶにふさわしい変貌を遂げている。本稿では、環境規制に対応するめっき、(2)微細構造物の製造技術としてのめっき、機能薄膜の作製技術としてのめっき、という3つの進化を概観する。

○過酸化水素ガス殺菌技術の解明/大和製罐(株)/桑原浩輔・浅野稔浩
無菌室などの室内殺菌技術の1つに過酸化水素ガス殺菌がある。本技術の殺菌に関与しているファクターは広く知られているが、それらの関係性については明らかにされていない。本稿ではこの関係性に着目し発明した新しい殺菌モニタリングシステムについて紹介する。

○加速試験によるウェーハ表面TDHの評価6
/半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
FOUPの品質に起因したIn-house TDH(Time Dependent Haze)の危険性について解説した。一部のサプライヤのFOUPからは、50℃・72時間という緩い加速条件でもTDHが検出され、In-houseTDHの危険性を簡便に評価できることを示した。

○アニオン交換材料を用いた燃料電池/(株)トクヤマ/渡辺伸
アニオン交換材料を用いたアルカリ膜形燃料電池は、アルカリ性雰囲気下で反応が進行するため、非白金触媒の使用、多様な燃料の適用など、従来の固体高分子型燃料電池とは異なる特長を有する。その機構、特性等について概説する。

○微生物燃料電池による廃水処理システムの開発と実用化への課題
/東京薬科大学　/宮原盛雄・渡邉一哉/積水化学工業(株)/石井良和
本稿では、スラローム流路のカセット電極型微生物燃料電池、sCE(slalom Cassette Electrode)-MFCによる模擬生活廃水の処理事例に加え、電極開発と装置のスケールアップを中心とした、微生物燃料電池の実用化の現状とその課題について解説する。

○大気中浮遊粒子状物質の形態観察
/環境リサーチ(株)/片岡洋子・山口陽二・松弘一
PM2.5を含む大気中の浮遊粒子状物質は、その粒子径などから健康影響があるといわれているがその成分や粒子形状に言及された分析等は少ない。本稿では、一般大気中から捕集された微小粒子の電子顕微鏡を用いた形態観察と元素分析の結果を紹介する。

○事例に基づく脱臭施工と脱臭効果判断士
/(株)共生エアテクノ/松林宏治
脱臭サービス業務の統一基準制定と認定制度資格化を目指して、(一社)日本除菌脱臭サービス協会の活動内容と方向性、取り組みについて述べる。

○低コスト・低汚染のTSVウェーハ薄層化技術
/(株)岡本工作機械製作所/山本栄一・三井貴彦・伊東利洋・吉田剛・坂東翼
ビアミドル対応のTSVウェーハ薄層化技術について、低コスト・低汚染のプロセス開発結果を報告する。これを実現するための、Cu/Si同時研削技術とCMP技術、Ni-B無電解メッキ技術とSiウェットエッチング技術、汚染評価データを紹介する。

■製品紹介
○省エネに貢献する新しいHEPAフィルタの性能
/日本無機(株)/乾邦彦・新沼仁

■研究室紹介
○長岡技術科学大学　生物系　高分子機能工学研究室　
/長岡技術科学大学/木村悟隆

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