/日本工業出版(株)/

■特集:CO2削減に貢献する半導体既設工場の省エネ対策
○ルネサステクノロジ高知事業所のエネルギ起源CO2削減活動/ルネサステクノロジ/高石 優・小笠原弘・柴田健一・岡林一夫

ルネサステクノロジ高知事業所は、経済性・環境性の両立を目指し、CO2削減に積極的に取組んできた。本稿では、近年5年間の改善取組み内容と今後の改善施策について報告する。成果としては、2002年度～2007年度の5年間で動力設備のCO2排出量を11%削減した。

○セイコーエプソン酒田事業所の温暖化ガス削減活動/エプソンファシリティ・エンジニアリング/菅原達也

セイコーエプソン酒田事業所では、瞬低対策において灯油を燃料とするコージェネレーションシステムにおいて効果を上げてきた。しかし原油価格の高騰等で化石燃料からの脱却が急務となった。本稿では短期間で実施した大規模なエネルギー構造転換の成果について報告する。

○クリーンルーム(CR)循環風量削減による省エネ/東芝セミコンダクター社/濱本鉄久・東 辰浩・末光秀吉

半導体製品の製造においては、製造環境の高清浄度化、一定温湿度の維持等で、膨大な空調電力を消費している。本稿では、CR構造と製品運用の特性に応じて清浄度維持に必要な循環風量に緩和することで、空調電力の省エネを行った事例について紹介する。

○空調機気化式加湿化の取組み/ルネサステクノロジ/佐久間敏

ルネサステクノロジ甲府事業所では、これまでCO2削減施策として、冷凍機や蒸気ボイラの高効率機器へのリプレイスやフリークーリングなどを実施してきたが、今回、空調機運転で多くの燃料エネルギーを消費する「加湿」の改善に取り組んだ内容について報告する。

○冷凍機用ポンプ流量制御システムによる半導体工場の省エネ/ダイダン/齋藤久士

冷凍機用ポンプ流量制御スステム(フロースマート)は冷凍機の冷水1次ポンプ及び冷却水ポンプを空調負荷に応じて流量制御することでポンプの搬送動力を大幅に削減できる。これまで多くの導入実績を通じて安定性、安全性が確認されており、多くの省エネルギー化に貢献している。

○最高70℃取り出し可能な循環加温タイプ熱源機/神戸製鋼所/下田平修和

近年、地球温暖化への取り組みから、高効率な熱源機の開発が進められているが、温水負荷への対応は十分ではない。本稿では、「最高70℃」の温水が取り出し可能な循環加温タイプの熱源機について、システムの概要と性能等の特徴を紹介する。

○省エネルギーに貢献するコンプレッサ/アトラスコプコ/三浦孝夫

地球温暖化対策として、より省エネルギー効率の高い製品を供給することが、我々メーカには求められている。本稿では、主力製品であるインバータ制御コンプレッサの省エネルギー効果について、試験運転の結果や導入事例をもとに記述する。

■コーヒーブレイク
○韓国・忠清南道・牙山(アサン)市にて/服部 毅

■解説
○半導体デバイスのESD耐性評価装置の開発/阪和電子工業/澤田真典

半導体デバイスは、高集積化・低電圧化により、ESDにおける耐性が低下している。そのためESD保護回路の開発と耐性確認は重要である。本稿では、ESD保護回路の開発を効率よく行えるツールについて説明する。

○半導体プロセス用20nmフィルターの性能/日本ポール/能勢昌之・水野豪仁

最先端の半導体デバイスを製造する上で、ウエーハ表面からの粒子除去は必須であり、その要求は年々厳しくなっている。本稿では、最先端フィルターの性能を紹介すると共に、その評価方法についての取り組みを併せて紹介する。

○熱泳動力による微小パーティクルの付着防止挙動/東京エレクトロン/田村明威・松井英章・林 輝幸

次世代パーティクル制御技術として、熱泳動力に着目し評価を行い、非常に高い効果が観察されている。本稿では60nmパーティクルウエーハの付着防止効果と、20nm程度の極微小パーティクルへの効果の理論的解析結果を報告する。

○化学物質管理とリスクコミュニケーションの今後の方向性/科学技術振興機構/安井 至

化審法の見直しプロセスがはじまった。この法律は日本の化学物質管理の根幹をなす法律のひとつである。しかしいくつかの問題点が無いとはいえない。本稿では化学物質管理の考え方とともに、リスクコミュニケーションの方向性について解説する。

○環境に優しいデバイス除去技術/金沢工業大学/堀邊英夫

電子デバイス製造においてレジスト除去は、薬液等を用いており環境負荷が大きい。今回加熱したタングステンに水素ガスを接触させ生成した水素ラジカルを用いたレジスト除去について検討した。除去されにくいイオン注入レジストも通常のレジストと同様に除去可能であった。

○VOC対策に向けた光触媒空気浄化装置/兵庫県立大学/服部 正・山下健治

開発した紫外線LED面発光体は紫外線エネルギー分布の均斉度が非常に高く、光触媒空気浄化装置に適した紫外線光源である。また紫外線LED面発光体を用いた光触媒空気浄化装置は活性炭のみによる除去方法に比べ使用済み活性炭量を1/5以下に減少できることが確認できた。

○空気清浄機による室内微生物対策/松下エコシステムズ/稲垣 純

健康意識の高まりから、一般家庭でも清潔な空気が求められている。空気清浄機を例として、室内に浮遊する粉塵・カビ・アレルゲンなどの捕集効果を示すとともに、空気清浄フィルタを清潔に保つための機能性素材について、その特長と効果を解説する。

○クリーンルームの清浄度評価について/ビオテスト/松本 泉

製造に関わる環境の微生物モニタリングと原材料から製造ラインを含む最終製品までの清浄度管理は重要な問題である。本稿では、製造に関わる環境のモニタリングについて紹介する。

○液晶・プリント基板等のミスト洗浄用強打力2流体ノズル/いけうち/権藤政則

エレクトロニクス製品の高精度化に伴い、洗浄においてもかなり厳しい要求が出てきている。特に液晶・プリント基板等の洗浄工程においては、従来の1流体ノズルでは限界があった。本稿では、粒子径が小さく、打力の強い2流体ノズルの特性について説明する。

■製品紹介
○クリーンリーム向け省エネ熱源システム/日立プラントテクノロジー/福井伊津志・中島健一
○光触媒繊維モジュール/宇部興産/柳比呂志

■基礎講座:分かりやすいクリーンルームの管理手法 3
○これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識(その4)/三菱電機/園田信夫