日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2008年6月号 PDF版
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クリーンテクノロジー 2008年6月号 PDF版

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■特集:半導体製造における欠陥検査・分析技術
○半導体デバイス製造における分析/東レリサーチセンター/森田直威・坂口晃一・小川賢吾・萬 尚樹・寺田恵三・味岡恒夫

半導体デバイス製造において、歩留まりを向上させるには、その発生原因を検証し改善・最適化することが肝要である。本稿では半導体デバイス製造に必要な解析と分析に関して述べるが、筆者が受託分析を行う立場を踏まえ、特に清浄化のための分析に関して述べる。

○シリコンウエーハの欠陥検査法/ケーエルエー・テンコール/玉木裕介

45nm世代のプロセスでは、洗浄可能なデフェクトとそうでないものを自動分離する機能や、ウォータマークの検出などの付加的機能も求められている。本稿ではこれらの新しい機能を実例とともに紹介する。

○半導体製造装置におけるパーティクル監視/東京エレクトロン/守屋 剛・長池宏史

デバイス性能の向上やコスト低減と合わせ、パーティクル等による製品歩留まりの低下が発生している。本稿では、量産ラインにおける半導体製造装置の清浄度を管理するために必要となるパーティクルモニタの課題、鍵となる技術について解説する。

[製品紹介]
○シリコンウエーハ内部欠陥検査装置/ケメット・ジャパン/岸田文樹

ケメット・ジャパンでは、次世代半導体の歩溜まり、品質向上に寄与する検査装置に力を注いでいる。本稿では、従来は見逃されていた欠陥検査を定量化することを可能にした検査装置(エアーポケット)をについて紹介する。

○回路パターン欠陥検査装置/東京エレクトロン/西澤秀介

半導体デバイスの製造工程においては、製品の歩留まりをいかにして高いレベルに保つかが非常に重要である。本稿では東京エレクトロンが販売提携結んでいるHMI社の欠陥検査装置2機種について紹介する。

○パターン付きウエーハ外観検査装置/東レエンジニアリング/山本比佐史

半導体ウエーハの品質保証のために外観検査の重要性はますます高まっている。この課題を解決するために、東レエンジニアリングでは全数検査が実現できる高速検査装置を開発してきた。ここでは最新機種である“7000R”シリーズについて紹介する。

○ノンパターンウエーハ表面上のパーティクル及び欠陥の検出/トプコン/野田 啓

ノンパターンウェーハ用表面検査装置は、半導体プロセスの歩留まり管理基ツールとして広く使用されている。本稿では、長年にわたり同装置を開発してきたトプコンのウエーハ表面検査装置WMシリーズについて紹介する。

○高精度最高速の検査性能を実現した三次元二次元ウエーハバンプ検査装置/高岳製作所/田嶋英幸

技術開発速度の速いウエーハ分野での適用を目的としたウエーハバンプ検査装置を開発した。本装置は、φ300mmウエーハを高精度で1時間に16枚という速度で検査することができる。その製品の概要について紹介する。

■コーヒーブレイク
○半導体製造技術の最前線(下)/服部 毅

■小特集:病院内環境とクリーン化技術
○病院内環境調査/東海大学/松木秀明・田爪正氣

病院内の空気中ホルムアルデヒド・二酸化窒素濃度、および空気中細菌・保育器および哺乳瓶保温器内水からブドウ球菌を分離、薬剤感受性試験によりMRSA、MRCNSの実態を把握するための調査結果について解説する。

○わが国の医療機関における院内感染対策の現状/東京歯科大学/須山祐之

世界各国に広がる感染汚染の問題は今後の院内感染対策を見直す時期となった。しかし院内感染対策を重視した設備および医療従事者の感染に対する意識、知識は充分とはいえない。本稿ではわが国の院内感染対策の現状について解説する。

○病院における空調システムメンテナンス/日本ウイントン/清水 晋

高度な医療が発展している現在、医師には高度な技術が求められ、また病院にも高度な医療に対応した設備を設置することが求められている。本稿では空調設備のメンテナンスと室内の清掃・消毒・清浄度測定など、トータルな衛生的メンテナンスの必要性について解説する。

■解説
○粒子の付着力と付着性/岡山大学/後藤邦彰

「粒子が小さいと付着性が高い」というのはよく言うが、粒子が小さいと付着力が強いのであろうか?本稿では、粒子一平板間および粒子間で付着が起きる場合を例として取り上げ、付着性と付着現象の考え方を付着力と分離力のバランスに着目して整理してみる。

○自動車部品洗浄の技術動向/デンソー/柳川敬太

近年、自動車部品は小型・精密化が進み、洗浄の重要性が高まりつつある。また製品競争力の向上には洗浄工程の合理化を追求し、コストミニマムな手法を選択することが必要である。本稿では自動車部品の洗浄と評価技術について、その概要と技術動向を解説する。

○ビル空調における微生物測定と空調機器対策/新日本空調/高塚 威

2003年に健康増進法が施行されるなど、国民保健の向上に向けた行政の取り組みが本格化してきた。本稿ではビル空調の維持管理の視点から、臭気と微生物の関連性について測定・調査を行った内容を紹介し、空調システムにおける微生物対策や機器について解説する。

○ガスファンヒーターにおけるスギ花粉アレルゲンの除去効果の評価/大阪ガス/山下信彦

近年、室内に浮遊する微小な粒子がヒトの健康に深く関わっていることが明らかにされ、関心が集まっている。本稿では、特に一般消費者の関心が高いスギ花粉に注目し、ガスファンヒーターのスギ花粉除去効果について評価した。

○空気清浄機の空中除菌性能の評価法/環境生物学研究所/阿部恵子

近年、様々なタイプの空中浮遊微生物除去および防止のための機器が開発されているが、その性能については開発メーカでの評価となっている。本稿では客観的な立場において検証する空気清浄機の空中除菌性能の評価法について解説する。

■製品紹介
○光触媒の能力をフルに生かした脱臭殺菌装置/朝日工業社/村上栄造

■基礎講座:分かりやすいクリーンルームの管理手法 3
○これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識(その3)/三菱電機/園田信夫

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