/日本工業出版(株)/

■特集:微粒子挙動とシミュレーション
○気流・ダスト流れシミュレーション/新日本空調/岡本隆太

近年、クリーンルームの気流設計には、CFDが多用されるようになってきている。本稿では、クリーン環境を構築するために極めて有用なツールであるシミュレーション技術をどのような問題に適用しているかを、実例を交えて解説する。

○微粒子のクリーンルーム内挙動/大林組/諏訪好英

本稿では、クリーンルーム内の微粒子挙動について筆者の持っているイメージを示し、またクリーンルーム内の気流と微粒子汚染の対策において陥りやすい問題点、留意点について考察する。

○新しい気流の可視化/日本エアーテック/磯部好秀

クリーンルームにおける気流の可視化方法には、タフト法や注入トレーサー法があるが、それぞれの長所とともに、短所も見受けられる。それらの短所、問題点を解決する装置として、クリーンビューワーの構造と特長について紹介する。

○設計者が利用する熱流体解析の現状と今後/ソフトウエアクレイドル/吉川淳一郎

本稿では、熱流体解析ソフトウェア開発会社の立場から、ソフトウェアの問題点や運用方法、利用者に求められる能力に解説する。また最近変化が大きい熱流体解析を利用するコンピュータ環境などについて紹介する。

○フローセル方式のパーティクルカウンタによる新たな汚染粒子の測定/リオン/近藤 郁

半導体やFPDなど、電子デバイス産業における生産効率の向上には、汚染粒子の抑制が必須であり、より効果的な粒子管理方法が常に求められている。本稿では粒子の挙動を考慮した新たな粒子測定管理への試みについて説明する。

○クリーンルームにおける微粒子解析事例/日本カノマックス/宮田雄二

クリーンルームを評価する上で、空気中の微粒子計測は最も重要な要素である。またその解析を行うことは、発じん源の特定を行う上で、重要な要素である。本稿では浮遊微粒子濃度試験機やクリーンルームにおける発じんの問題等において、事例とも合わせ解説する。

○有機EL用燐光材料の高効率製造技術/産業技術総合研究所/今野英雄

■コーヒーブレイク
○半導体製造技術の最前線(上)/服部 毅

■解説
○バッチ式シリコンウエハ洗浄機における超音波と水流/横浜国立大学/羽深 等・岡田勇太・吉井拓史/プレテック/加藤正行

電子回路の作製においては各工程において発生した汚染、残渣などを取り除くために、大口径のシリコンウエーハを頻繁に洗浄することとなる。本稿では、バッチ式洗浄槽における水の動き・流れに対する超音波の効果について観察を行ったので、その詳細を報告する。

○電解硫酸によるレジスト剥離システム/栗田工業/永井達夫

半導体製造工程のレジスト剥離処理としてSPM法が広く用いられているが、大量の硫酸と過酸化水素を使用することが課題となっている。そこで硫酸を電気分解することで過硫酸を生成し、その強力な酸化力を利用する技術を開発した。

○自動車車室内の空気質に関する基礎的研究/武蔵工業大学/岩下 剛

自動車室内の空気環境に要求されるレベルは建築の居住環境に近くなってきている。本研究は走行環境及び停車環境において乗員が曝露される空気質について調査することを目的とし、粉塵、超微粒子、オゾンの各濃度を求め、健康性・快適性・運転作業性への影響を検討した。

○大気圧プラズマによる廃棄物処理システム/東京工業大学/渡邊隆之/クリーンテクノロジー/大槻浩司

大気圧プラズマ技術は環境問題の解決のための先端基盤技術の一つとして、現在注目を集めている分野である。本稿ではフロン、ハロン、PFC、およびPCBを大気圧プラズマによって分解するシステムについて紹介する。

○植物を活用した新しい環境再生システム/奈良先端科学技術大学院大学/松井　健史/辻本正直

植物を利用した水処理システムは、低コスト・省エネルギー型システムとして期待されている。環境ホルモンの除去・分解能に優れた高機能植物と、廃棄物再利用濾材を組み合わせた植物栽培型浄化システムについて紹介する。

○磁気力を利用した水の浄化と回収物質の再資源化/首都大学東京/伊藤大佐

磁気分解により、ウラン汚染水のゼロエミッション浄化及びリンの回収と再資源化が可能であることを示した。原子炉の燃料棒冷却水中の放射性重金属の浄化と放射性廃棄物の減容化、及び下水処理場等でのリンの浄化と回収したリンのリサイクルに適用可能である。

○VOC排出抑制のためのプロセスモデリング/東京大学/菊池康紀・平尾雅彦

金属加工に不可欠となる洗浄プロセスにおいて、VOCの排出抑制が必要となっている。本研究では、様々な対策技術を適切に評価し同入するため、工業的装置を用いた定量実験に基づき、洗浄装置モデルを構築している。モデルの概要とこれまでの成果を説明する。

○過熱水蒸気を用いたガラス基板端面洗浄技術/三菱電機/野田清治・中井隆文/島田理化工業/片岡辰雄

ガラス切断後に端面に付着した異物を除去する目的で過熱水蒸気を利用した洗浄ツールを開発した。過熱水蒸気処理は従来の二流体ノズルによる処理と比較して性能が2倍高く、処理時間1秒以内で研磨後の基板の端面異物量を50%以上減少できることが分かった。

○活性炭におけるVOCの単成分系および2成分系の吸着/高砂熱学工業/秋山貴洋

活性炭を用いて空気中のVOCを除去する際の吸着現象に関して、単成分系の吸着平衡、および多成分系の吸着平衡のモデル化の方法について紹介する。また、活性炭フィルタにおけるトルエン+ベンゼンの2成分系での吸着脱離挙動のシミュレーション事例を示す。

○クリーンユニットシステムプラットフォーム(CUSP)による極限光洗浄度ISOクラス-1(マイナス1)の実現/北海道大学/石橋 晃

自然界には非常に大きな階層構造がある。トップダウン、ボトムアップの両系を接続・統合することができれば相乗効果が引出せ、人類の未来に展望が開ける。クリーンユニットシステムプラットフォームは、科学技術及び生産現場でこの大きな可能性を支え、また現実化していく一助となると期待されている。

○クリーンルーム用衣服の動向と将来展望(後編)/福井工業大学/浅田敏勝/ゴールドウィン/七間一誠

クリーンな作業環境を維持するために、人が身に付ける衣服は、発塵源としても防塵源としても重要な役割を演じている。本稿(後編)では、クリーンルーム用衣服の着衣管理と設計について解説する。

■基礎講座:分かりやすいクリーンルームの管理手法 2
○これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識 その2/三菱電機/園田信夫