日工の技術雑誌

光アライアンス 2008年3月号 PDF版
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光アライアンス 2008年3月号 PDF版

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■特集:薬と関わる光学技術
○テラヘルツ波による禁止薬物の探知/理化学研究所/大谷知行・保科宏道・佐々木芳彰/東北大学/小川雄一/名古屋大学/川瀬晃道

 我々は、テラヘルツ波の物質透過性と指紋スペクトルによる物質同定能力を利用して、封筒内の違法薬物等を非開披検査するプロトタイプ装置の開発を進めてきた。本稿では、このプロトタイプ機の構成と開発について報告する。

○創薬スクリーニング/北海道大学/金城政孝
 新規光プローブ等に特化したわが国独自の高感度蛍光イメージング側光技術の確立が重要である。装薬産業技術の確立、および我国の基盤技術の発展を目差し、独自の蛍光プローブ・側光技術の確立に努める

○創薬スクリーニング/富士フイルム/大塚 尚・来馬浩二・山田孝之・清水 仁・木村俊仁・納谷昌之
 プリズムとフローセルとを一体化したセンサースティックを開発することにより、高感度かつSPR法としては世界最速の処理スピード持つ創薬スクリーニングシステムを実現した。さらにスティックをディスポ化し、低コスト化と汚染フリー、メンテフリーをも両立した。


■特集:光を使用した最新の計測
○光ファイバ型センサによる電界/磁界計測/日本電気/岩波瑞樹
 高密度に実装された電子部品の実動作状態での電気特性評価が、ますます重要となっている。この目的に向けて、我々は光ファイバを用いた電磁界センサの開発を進めている。小型、高空間分解能、広帯域、低侵襲といった優れた特徴を持つ光ファイバ型電磁界センサの計測原理と、それを用いた微細回路上電磁界分布の測定例を紹介する。また、最近新たに開発された超小型センサについても紹介する。

○デジタル画像による3D計測とその応用例/トプコン/渡邉広登・高地伸夫・山田光晴/トプコンテクノハウス/横山 宏・高井哲男
 従来、工業計測分野における3次元計測はプローブ等を用いた接触式タイプが大半であったが、作業効率の点から計測点数に限度があり、所望の形状を間引いた状態での計測である。それに対して現在では、膨大な計測点数を一度に計測する非接触3次元計測が工業計測分野の主流となっている。その中でもステレオ画像を用いた3D画像計測法は、計測用画像取得の際の瞬時性、可搬性から、近年工業計測分野に取り入れられつつある1)。さらに計測した3Dデータ上に計測用画像をテクスチャとして貼り付けることができるため、3Dデータのみならずテクスチャも重視するユーザーにとってはメリットが大きい。また本方式では、計測用画像をデジタルカメラにて瞬時にシャッターを切って取得することができるため、人体等の動的対象物の一瞬を計測するのにも適している。本稿では、工業用計測向けに計測ツールとして開発した基準尺を用いて精度評価を行った結果と、基準尺を使用した応用事例を示す。

○リソグラフィ用レーザの光品位計測/ギガフォトン/若林 理
 リソグラフィ用レーザは、露光装置の投影レンズの色収差を無視できるスペクトルまで 狭帯域化したエキシマレーザが使"されている。このレーザの光品位として最も重要な 、スペクトルプロファイル、波長、空間コヒーレンス及びASE計測に関して報告する。

○リソグラフィ用エキシマレーザのスペクトル制御/ギガフォトン/鈴木 徹
 ハーフピッチ45nm対応リソグラフィ用光源には、より狭いスペクトル幅およびスペクトル幅変動の少ないことが要求されている。これらの仕様をArFエキシマレーザGT61Aの主要性能およびスペクトル制御技術を紹介する。

○非球面レンズの偏芯測定方法/三鷹光器/鈴木 工・三浦勝弘
 従来はシフトとティルトの定量的な測定が困難であった非球面レンズの偏芯量を、弊社のレーザプローブ式非接触三次元測定器NHシリーズで、アライメントマークとしてピンホールを用いる方法によって測定する方法を開発したのでそれを紹介する。


■解説
○トヨタ自動車におけるレーザ加工/トヨタ自動車/三瓶和久
 炭酸ガスレーザによる2次元の溶接、切断を中心に始まったレーザ加工の適用は、半導体レーザの高出力化に伴うレーザシステムと固体レーザが可能になることで、さらなる適用の拡大を見せている。特にボデー溶接の分野での展開が著しい。

○超高感度レーザー分析の最前線/東京工業大学/三澤健太郎・松本 淳・石内俊一・藤井正明/新日本製鐵/林 俊一

■製品技術紹介
○レーザによる微細加工/カンタムエレクトロニクス/佐々木弘

■研究室紹介
○九州工業大学 情報工学部 電子情報工学科 藤居・小西研究室/九州工業大学/藤居 仁
○東京大学 生産技術研究所 黒田・志村研究室/東京大学/藤村隆史"

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