■特集1:超音波洗浄
○半導体洗浄技術の課題と展望/Hattori Consulting International/服部 毅
長年にわたり、バッチ浸漬式に慣れ親しんできた半導体洗浄の世界にも、枚葉スピン式への移行、新薬液や洗浄乾燥手法の開発など新たな動きが出てきた。デバイスの微細化に伴い、洗浄によって生ずる構造ダメージや材料ロスを抑止するために、メガソニックの再検討を初めとして洗浄手法のブレークスルーが求められている。
○先端半導体デバイスの超精密洗浄とナノ構造制御/フジミインコーポレーテッド/森永 均
汚染洗浄とダメージのメカニズムを解説し、対策に向けた考え方を紹介する。
○超音波洗浄におけるダメージ低減/カイジョー/副島潤一郎
超音波洗浄におけるダメージ低減について紹介する。
○気泡振動の計算機シミュレーション/産業技術総合研究所/安井久一・辻内 亨・小塚晃透・砥綿篤哉・飯田康夫
超音波照射下の液体中の気泡が活性である為の条件は、気泡の平衡半径が線形共鳴半径に等しい事だと考えられてきた。しかし、キャビテーション閾値以上では、気泡振動の非線形性が強くなり、共鳴半径は線形共鳴半径よりも著しく小さくなる。加えて、気泡の共鳴が極めて緩やかな為、活性な気泡の平衡半径の範囲は、1桁以上にわたる。
○壁面付着気泡の振動挙動に関する検討/同志社大学/中谷慎太郎・吉田憲司・渡辺好章
超高速度ビデオカメラを用いて、超音波照射下における壁面付着気泡の挙動を光学的に検討した。その結果、気泡を取り巻く流体にはマイクロストリーミングと呼ばれる局所的な激しい流れを発生させ、壁面に付着させた微粒子を除去する挙動が観測された。
○枚葉式ハイメガへの取り組み/カイジョー/杉山 晋
超音波による洗浄方法には、大きく分けてバッチ式洗浄と枚葉式洗浄の2種類がある。本稿では、枚様式洗浄における超音波の利用方法について紹介を行う。
これまで、枚葉式洗浄には、主に単一周波数での利用が一般的な方法であった。一方、本稿では超音波の周波数を変えることで、微粒子洗浄・CMP後洗浄など工程への対応や種々のデバイスに対応した洗浄レシピ制作が可能になる。また、今後の超音波洗浄での応用の幅が広がる可能性を持っていると言える。
○半導体用超音波洗浄装置/日立国際電気エンジニアリング/大川真樹
最近メガソニックによる配線ダメージ問題が急速に浮上してきた。当社の均一な洗浄と低ダメージへの取り組みについて述べる。
○BRANSON S8500 発振器、振動子/日本エマソン/鮫島耕一
超音波波洗浄の中間周波数帯において好評を博しているS8500超音波発振器、振動子について紹介し、これらがBRANSON独自の製造方法、超音波コアテクノロジーの下、製品化されていることについて触れる。
○精密機器用中間周波超音波洗浄機/カイジョー/永野裕之
精密機器用中間周波超音波洗浄機における均一化、ダメージレスなどについての取り組みを述べる。
○スイープ型超音波洗浄機/超音波工業/加藤 弘
低周波の超音波洗浄機は、海外製の安価な洗浄機も流通しているため価格競争が激化しているが、その中、性能は勿論のこと耐久性に優れ、対向照射が可能なスイ-プ型超音波洗浄機を紹介する。また、ユニットの特徴だけではなく装置への応用例も紹介する。
○低周波超音波洗浄機(50kHz未満)/本多電子/佐野 貢
50kHz未満の周波数を用いた低周波超音波洗浄機について述べる。
○振動体型超音波洗浄ユニットW-357シリーズ/本多電子/疋田智美
近年ダメージのない洗浄方法や、薬品の使用量の減少や濃度の希薄化が市場より求められており、これらの要請に対応すべく開発した「振動体型超音波洗浄ユニット」について述べる。
○超音波シャワー/カイジョー/岡野勝一
当社開発の超音波シャワーについて歩留まりを改善した具体的な手法を交え紹介する。
○インモールド成型・最大の課題 箔バリ・瞬間除去システム・実用化/スター・クラスター/柴野佳英
インモールド印刷時に発生する、箔バリは、通常ブラシや、ブラストなどで除去するが、取り残しや、傷、作業環境の汚染を招きやすい。超音波箔バリ除去装置は、特殊な箔バリ用の強力な超音波を照射して、箔バリを完全除去、従来の問題を解決、さらに精密洗浄をも行うもので、急速な普及が見込まれている。
○ホーン型超音波洗浄機/超音波工業/加藤 弘
汎用型の洗浄機とは異なり、強力な超音波を使用して強固な汚れを除去するホ-ン型超音波洗浄機を紹介する。この装置は、金属フィルタ-の目詰まり除去などメンテナンス(再生洗浄)用途が多く、また水だけで十分洗浄が可能なので環境負荷も軽い装置である。
○液晶・プリント基板等のミスト洗浄用強打力2流体ノズル/いけうち/権藤政則
エレクトロニクス製品の高精度化に伴い、洗浄においてもかなり厳しい要求がでてきている。特に液晶・プリント基板等の洗浄工程においてはサブミクロンオーダーの異物除去が課題であり、これを解決するため粒子径の小さく打力の強い2流体ノズルを開発した。従来品との比較から開発品の特性をいろいろな角度で説明していく。
○マイクロバブルを用いた洗浄技術/三菱電機/宮本 誠
高密度マイクロバブルを用いた新しい洗浄方法は、多大な表面積に基づく洗浄能力と高い汚れの分離能力を特徴とする界面制御型の洗浄方法である。その概要について述べる。
■特集2:医用超音波の最新事例
○進歩し続ける最新の超音波診断画像/小張総合病院/渡辺秀雄
超音波診断装置は、メーカーの技術開発により一歩一歩確実に進歩しており、日々の診療における診断能力は数段高くなったと思われる。今回は特に体表臓器に注目し、実際に超音波検査が決め手となった一症例をもとに最新の超音波診断画像について概説する。
○へき地離島の当院における超音波検査の役割/長崎県離島医療圏組合上対馬病院/河島慎一
多くのへき地病院は医師不足及び高度医療機器の普及に乏しい現状がある。その現状の中でへき地離島の当院における超音波検査の役割について、またへき地病院における超音波検査の今後への展望を述べる。
○光と超音波で断層画像に挑む/大阪府立大学/堀中博道・松中敏行
医療診断のための新しい断層画像を得る方法として、光アシスト超音波速度映像法を提案し、実験システムによってその可能性を検証した。動物組織中の光吸収部を画像化することができたので、生体におけるナノ粒子分布モニターとしての応用の可能性も得られた。
○最新の超音波イメージング技術/GE横河メディカルシステム/小笠原正文
最近10年前後の間に超音波診断装置に導入された新しい技術について概観する。ディジタル化からさらにはソフトウェア化が進み、装置の柔軟性が格段に増した。カラードプラの欠点を補うようにB-Flowなどの技術が現れ、3D/4D表示も普及技術となってきている。これらの新しい技術を紹介する。
○ソナゾイド(R)造影超音波検査の有用性について/大船中央病院/宍戸雅広
■解説
〔ソノケミストリー〕
○エタノール-水”ナノ”ミストの観測と超音波霧化分離のメカニズム/立命館大学/矢野陽子/超音波醸造所/松浦一雄
超音波霧化分離法のメカニズムを解明するためにSPring-8の高輝度X線を用いた小角散乱実験を行った。その結果、エタノール水溶液を超音波霧化させると、大きさとエタノール濃度の異なる2種類の液滴(水リッチなマイクロドロップレットとエタノールリッチなナノドロップレット)が発生し、クラスターレベルでエタノールを分離しているということがわかった。
○超音波レビテーション洗浄消毒滅菌機の性能/明星大学/原 正憲・上田豊甫/エロイカ・コーポレーション/鴫原學徳
従来の振動板裏面に振動源を並列配置する方式の欠点を改質し、傘型振動弁からなる独立点駆動源を応用し、進行波による剪断応力を介した物理的放射応力とした新方式に基づき、オゾン超音波洗浄と銀電解滅菌の同時処理を具現化したものである。硬軟いずれの物質もムラなく洗浄でき、蒸気滅菌とガス滅菌に最強の抵抗性を示す好熱性細菌も枯草菌も簡単に死滅させられる。
〔強力超音波の応用〕
○自走式超音波浮上リニアステージ/東京工業大学/小山大介・中村健太郎・上羽貞行
近距離場音波浮揚を利用した自走式非接触リニアステージについて説明する。本リニアステージはガイドが不要であることから小型化が期待でき、超クリーン環境下や強磁場、超低漏洩磁場要求環境下での使用も実現できる可能性がある。
〔超音波基礎〕
○ガンジスカワイルカ超音波観測/東京大学/浦 環・杉松治美/KDDI研究所/小島淳一
絶滅が危惧されるガンジスカワイルカの保護活動に向け、イルカがエコーロケーション時に発する超音波クリック音を利用した音響観測を行い、データ解析からクリックの音響特性、特に指向性の解明を進め、水平方向では10°程度、垂直方向では14°程度という事を明らかにした。
〔超音波計測〕
○毛髪の音速・密度・減衰定数の測定/東海大学/斎藤繁実
物質の音響特性の測定には通常ある程度の容積の試料が用いられるが、毛髪のように、細線でしか存在しないものがある。ここでは毛髪の音速・密度・減衰定数を簡易な方法により300kHzで測定し、特性に比較的大きな個体差があることなどを示している。
■製品紹介
○高機能炭化水素系洗浄剤「NSクリーン」「EMクリーン」/ジャパンエナジー/飯守慎太郎
○投げ込み式超音波洗浄機TSシリーズ/新科産業/中原理揮
■会議報告
○2007年 第28回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム(USE 2007)/筑波大学/狩野 旬・川村洋平・若槻尚斗
■研究室紹介
○ハード・ソフトを融合した未来の超音波医療 東京農工大学 桝田研究室/東京農工大学/桝田晃司
○公立大学法人 奈良県立医科大学 医学部 耳鼻咽喉科学教室/奈良県立医科大学/長谷芳樹
■製品ガイド
○超音波関連製品ジャンル別ガイド 超音波検査機器/編集部
■News & Products
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