日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2008年2月号 PDF版
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クリーンテクノロジー 2008年2月号 PDF版

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■特集:用途別にみるフィルタの最新動向
○エアフィルタの技術動向/日本エア・フィルター/岡本正行

エアフィルタの構成、材料、機能等の基本的事項を述べながら、最近の動向をろ材開発を含めて紹介した。また、環境に優しい製品を意識して、ろ材交換型、再成式エアフィルタに加え、エコマーク製品も記述した。さらに抗菌、ガス除去フィルタの特性等も動向に加筆した。

○化学汚染対策用ケミカルフィルタ/ダン・タクマ/吉澤 巌

半導体製造に関わる環境の化学汚染制御を実施するためのケミカルフィルタを用いた化学汚染制御技術全般に加え、最近の事例「ArFレーザーを用いた露光機で、低沸点Si化合物が原因とされるヘイズ発生」とその対策に触れる。

○超純水製造システムにおける逆浸透膜/栗田工業/新井伸説

超純水製造システムにおける逆浸透膜の利用について、また技術課題の一つである膜汚染対策、特に有機物汚染への対策方法について紹介する。

○逆浸透膜の技術/日東電工/越前 将・小原友海

逆浸透膜は、さまざまな水処理用途に利用されているが、限られた地球資源を有効利用し、環境への負荷をできるだけ少なくするための省エネルギー化が要求されてきた。逆浸透膜による水処理の動向について概説する。

○金属除去フィルタの効果/日本インテグリス/橋本幸雄

半導体製造で用いる超純水用金属除去フィルタの効果について紹介する。使用済みフィルタの多孔質膜、イオン交換膜に捕捉された粒子、およびイオン交換膜補足金属の分析を通して、極限まで純化された超純水の清浄度について考察する。


■コーヒーブレイク
○理科系のための…(10)/服部 毅

■解説
○嗅覚測定の精度管理と不確かさの推定/山口大学/樋口隆哉

臭覚測定法の信頼性を確保するために、平成14年に精度管理マニュアルが取りまとめられた。今後は不確かさの算出方法を確立し、測定結果を解釈する際の統一的手順を提供することが求められる。

○可視画像を用いた大気エアロゾル観測/京都大学/大西将徳

大気エアロゾルの高密度観測を実現する新しい観測手法として、大気分子と大気エアロゾルの散乱光の角度分布の違いを利用することで、可視画像から大気エアロゾル量を推定する観測手法を提案した。

○石油汚染土壌の高効率生物処理技術/立命館大学/松宮芳樹・久保 幹/大和化成/蓑田正史

特殊微生物を用いた高効率バイオレメディエーションの開発に関し、石油汚染土壌の現状、石油を分解する特殊微生物の分離と特徴、さらに微生物挙動解析技術を用いた石油汚染土壌浄化に関するバイオレメディエーションの効率化について解説する。

○クリーンルームにおける室圧変動に関する実験的測定/戸田建設/村江行忠・岩村多美勇

本稿では、様々な室圧制御が可能な実験室における扉開閉時および局所排気稼働時などの室圧変動に関する実験結果について報告する。

○石棉含有吹付け材除去工事における石綿粉じん濃度調査/清水建設/名知洋子

吹付け材除去工事における作業区画の石綿粉じん濃度を測定し、・建物周辺と敷地内の作業区画における石綿粉じん濃度について、問題がないレベルにあること、・除去作業環境は適切に管理されていたことがわかった。

○電子機器から放散されるにおいの評価/住化分析センター/大嶋洋司

製品からの化学物質放散量は、種々の試験法に基づき評価が行われているが、規制された成分以外に、製品から放散されるにおいが、近年注目を集めている。そこで我々は、レーザープリンタから放散されるにおいについて、評価を行った。

○GCにおいかぎによるにおい成分の測定/ジーエルサイエンス/千賀芳紀

混合成分中の重要なにおいkey成分を特定するのにGCにおいかぎ法がある。これはキャピラリーGCの分離能を利用して単一のにおい成分をかぎわける有効な手法である。ここではGCにおいかぎに関する基礎、問題点やその対策を踏まえながら解説を行う。

○サンプリングバッグを用いた揮発性有機化合物の放散測定に関する研究/いすゞ中央研究所/達 晃一

自動車業界を中心に利用されているサンプリングバッグ法について、実際の使用において注意すべき項目を、データを基に解説する。またバリデーション法について紹介する。

○宇宙機の熱真空試験における汚染防止/宇宙航空研究開発機構/猿渡英樹

適切な汚染管理は、宇宙機の開発においても重要である。特に宇宙の高真空極低温環境を模擬する熱真空試験では、常温常圧環境よりも汚染の危険が高い。そのような環境における汚染管理の概要を紹介する。


■製品紹介
○VOC測定装置/伯東/厚木辰三
○工業分野向け高精度・高耐久な温湿度変換器/テストー/黒瀬佐知子
○新たなフッ素系不活性液体の開発/住友スリーエム/片岡 将和/3M Company./Michel G. Costello
○超音波ノズルを活用した洗浄真空乾燥装置/ヤマトテクノス/山本義治
○先進の薄型ファンフィルタユニット/松下エコシステムズ/常川健留

■基礎講座:エンジニアリングのためのGMP豆知識9
○無菌医薬品製造における空調設備要件/GMPリサーチ/山川康泰

■SEAJ News
○半導体製造装置販売統計/日本半導体製造装置協会

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