日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2016年12月号
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L1612

クリーンテクノロジー 2016年12月号

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■特集:セミコン・ジャパンで注目を集める製品と技術
○分析装置の特徴と役割
/(株)アルバック/桜井貞雄
エリプソメータは複雑な光学系を機械的・電気的に制御する必要があり、小型化、高速化への対応に限界があった。当社の自動高速分光エリプソメータ「UNECSシリーズ」は、これらの課題を解消し、小型・高速化を実現しており、今後の分光エリプソメータの応用分野拡大に期待がもてる製品となっている。その特徴と利点を纏めた。

○超純水と高品位薬液のインライン測定
/スペクトリス(株)/加藤和年
超純水および高品質化学薬品の品質管理を行う際にさまざまな管理手法が存在するが、直接かつ、リアルタイムに測定値が確認できる液中パーティクルカウンタが有用である。本稿では、液中パーティクルカウンタと、超純水と高品位薬液のインライン測定を紹介する。

○アイソレータ、安全キャビネットにおける化学物質濃度の実態調査
/(株)住化分析センター/池田 慧
気中粒子数および微生物数が管理項目とされている無菌アイソレータ、安全キャビネットにおいて、酸・塩基、有機物の清浄度実態を調査した。無菌空間に存在する化学物質と、その影響について考察し報告する。

○ドラフトチャンバーの気流性能を引き出す注意点
/(株)ダルトン/吉松圭介
ドラフトチャンバーは正しい計画に基づいた選定、運用、そして何よりも正しいメンテナンスを行ってこそ実験者を守ってくれる囲いである。低風量ドラフトチャンバーの注意点も合わせてあらためて整理する。

○LMガイドの特長と役割
/THK(株)/小森俊明
機械の直線運動部を「ころがり」を用いて案内するLMガイドは、半導体製造機器等の最先端技術の主要部品として使用されている。本稿では当社のボールリテーナー付きLMガイドの優れた低発塵性を紹介する。

○クリーンエアー機器の特徴と役割
/日本エアーテック(株)/幸王孝文
HEPAフィルターを用いた空気清浄技術は宇宙開発、電子・半導体・精密機械、医療、食品などさまざまな分野に利用されている。クリーンエアー機器への要求は使用用途に合わせて細分化され、新しい技術と製品開発が進められている。本稿ではクリーンエアー機器の特徴と役割について一部紹介する。

○超純水の粒子汚染管理およびプロセスガスモニタリング
/日本カノマックス(株)/大竹哲哉・星野邦広
半導体業界では近年の小型化高集積化に伴い、品質管理・改善及び研究開発等において、より高精度なモニタリングが求められている。本稿では半導体製造プロセスでこれまでにないモニタリングを可能にする新技術を用いた2つの製品を紹介する。

○最新型リフトオフ装置の特徴と役割
/伯東(株)/石山栄一
米国Veeco社の最新型リフトオフ装置WaferStorm™は浸漬槽と枚葉スプレー槽の組み合わせを最適化し、短時間で精密なリフトオフを達成する溶媒ベースのプラットフォームである。本稿ではその特徴と役割について述べる。

○光照射式静電気除去装置の特徴と役割
/浜松ホトニクス(株)/奥村直樹
本製品はクリーンなイオン生成方式「Photoionization(光電離)」を用いた微弱X線照射方式の静電気除去装置である。同方式はコロナ放電方式で問題となる発塵や逆帯電の発生が無い。また、イオン搬送のための送風が不要である。

○横河ソリューションサービスのミニマルファブトータルソリューション
/横河ソリューションサービス(株)/村國大志・柴 育成・永井 亨
当社は、ミニマルファブの導入を希望される顧客に環境構築からサポートに至る「ミニマルファブトータルソリューション」を展開している。また、本年4月に普及促進のため、ミニマルアプリケーションラボを開設した。

○差圧式液体流量制御器の開発
/(株)リンテック/尾崎聡美
差圧発生素子に同心二重管構造を用いた差圧式流量制御器を開発した。本器では流量は圧力に比例し、さらに温度補償機能を組み込むことにより、高精度かつ高速応答性を有する液体用質量流量制御器が実現できた。

■解説
○ナノファイバを利用した有機薄膜太陽電池の高出力化
/東京工業大学/松本英俊・鴻巣裕一・長谷川絵美・谷岡明彦
/実践女子大学/稲垣サナエ
本稿では、高分子半導体ナノファイバを利用した光電変換活性層のナノ構造制御に基づく有機薄膜太陽電池の高出力化の検討と室内用環境発電素子としてワイヤレスセンサ端末の自立電源としての応用例について紹介する。

○サステナブルな未来を創る新たなグリーンIT
/富士通(株)/朽網道徳
IT技術の進化により、グリーンITは革新が進み、世界全体のグリーンイノベーションを牽引することが期待される。本稿では、未来の“新たなグリーンIT”という視点で、その考え方と展望について解説する。

○味覚・嗅覚機構を模倣した低分子化合物を認識するセンサの開発
/九州大学/都甲 潔
味覚と嗅覚は低分子化合物を受容する化学感覚であり、その機構を模倣した化学・バイオセンサが研究開発、実用化されている。本稿ではそれを概観し、さらに内閣府プログラムImPACTの中の「有害低分子」プロジェクトに言及する。

○麻酔中の誤薬・誤投与防止のための安全対策
/名古屋市立大学/志田恭子・祖父江和哉
当大学医学部附属病院では、誤薬・誤投与防止対策の一環として、2010年6月からシリンジラベルの改善を検討してきた。そして、世界初のシステムNOS-SA(Nagoya City University Operation Room Safety-Smart Assistance)を開発し、2014年11月より全手術室で稼働している。その経緯と問題点、今後の課題について紹介する。

○吸着材デシカントローターの湿度差スイングによる除湿暖房
/金沢大学/辻口拓也・児玉昭雄
本稿では熱駆動・オープンサイクルという特長から環境親和性と室内空気品質の両立が可能なデシカント空調の新たなアプリケーションとして、「湿度差スイングによる除湿・暖房運転」を提案し、理論や実証試験結果・省エネルギー効果の試算結果を紹介する。

■連載
○わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第44回
/新日本空調(株)/水谷 旬

■製品紹介
○フィルターによる耐熱性好酸性菌(TAB)の除去
/(株)ロキテクノ/吉野 雅

○触媒によるアンモニアおよび有機窒素化合物の分解技術
/日揮ユニバーサル(株)/梨子田敏也

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