/日本工業出版(株)/

■特集:純水・超純水製造装置の最新動向
○純水・超純水製造技術の最新動向
/栗田工業(株)/横井生憲
最近では、環境への配慮としてCO2排出量削減ではなく、超純水製造で使用するケミカル量削減を重要な位置づけとして検討することもあり、対応が多様化してきている。ここでは、半導体業界の純水・超純水製造技術における最新動向について紹介する。

○電子産業向け超純水製造装置
/栗田工業(株)/宮洋一
半導体製造のウェットプロセスにおけるリンス工程で大量に使用されている「超純水」を製造する装置に求められるキーワードは「微細化」、「高歩留りの実現」と捉えている。本稿では、そのために必要な技術・開発について紹介する。

○超純水中の過酸化水素の除去
/オルガノ(株)/矢野大作
超純水中に不純物として含まれる過酸化水素を除去するため、高効率かつクリーンなモノリス型触媒樹脂を開発した。過酸化水素を除去した洗浄水を用いることにより、銅薄膜の溶出が抑制されることを見出した。

○静電プロセスと光電離効果による気体のイオン化
/(株)東通研/鈴木淳一
本稿では、静電プロセスと光電離効果による気体のイオン化について詳細を述べる。

○医薬品試験用水の製造と管理方法
/メルク(株)/石井直恵
平成23年3月24日に告示された第十六改正日本薬局方では「医薬品等の試験に用いる水は、試験を妨害する物質を含まないなど、試験を行うのに適した水とする」、すなわち、試験によって求められる水質が異なるため、「精製水」一律の規格ではなく、試験毎に用いる試験用水の確認が必要となった。そこで、医薬品の試験に用いる水に適した試験用水の精製方法とその管理について述べる。

○パーティクルカウンターに粒子ゼロの水を連続供給可能な超純水装置
/ヴェオリア・ウォーター・ソリューション&テクノロジー(UK)リミテッド エルガ・ラボウォーター/黒木文
ICに用いる分析用水は非常に高純度な超純水が必要である。分析機器などの機器に供給する超純水にも劣化させない機能が超純水装置にも求められてきた。それと同時に、供給する超純水の水質をリアルタイムにモニタリングすることも求められてきた。長期連続測定に対応するために、超純水の長期連続供給も求められている。エルガ・ラボウォーター(英国)ではこれらの要求事項を満たした純水装置・超純水装置を開発し、次世代型超純水システムPURELAB flex5として上市した。その特徴について述べる。

■製品特集:各社の純水・超純水製造装置
○EDIをベースとした純水装置
/野村マイクロ・サイエンス(株)/米原崇広
RO膜は現在も新しい素材を用いた膜の開発が進められているが、架橋ポリアミド複合膜が主流で、大きな技術革新はない。一方、イオン交換樹脂は1990年代に登場した電気式連続再生型イオン交換装置により大きな転機を迎えた。本稿ではEDIを導入した純水装置がどのような用途に使用されているかを紹介する。

○イオン吸着膜
/オルガノ(株)/島田哲治
イオン吸着膜を設置して超純水中の極微量金属を低減した結果、シリコンウエハ表面に付着する金属量も低減できることが確認されている。イオン吸着膜の設置による超純水中の極微量金属の低減により、デバイスの高品質化への対応や歩留まり改善が可能となる。本稿では、その要諦について述べる。

○小型で高性能かつ廉価な超純水製造装置
/小松電子(株)/福村康和
当社は、これまで培った設計や精密加工、省力化などの技術を基盤に「再生医療」などの医療分野へ対応するために、小型の超純水製造装置を開発、販売を開始した。近年では、装置をリニューアルし超純水製造装置「うるぴゅあ」とブランドを定め、本格的に販売を開始した。その特徴について紹介する。

■解説
○水を用いた空気浄化システム「エアワッシャー」による各種大気汚染物質の除去性能
/オルガノ(株)/土井雄太・藤田雅司・山中弘次
当社は水と空気を気液接触させることにより空気の浄化を行う空気清浄機「エアワッシャー」を開発した。本空気清浄機は水を空気浄化の媒体として使用しており、大気中の微粒子やガス状汚染物質、臭気物質や浮遊細菌類など、種々の大気汚染物質の除去を効率的に行うことが期待できる。今回、各種大気汚染物質の除去性能について評価試験を行ったので報告する。

○製造設備におけるUPSの最新技術動向
/東芝三菱電機産業システム(株)/森 治義
生産効率向上のため、停電・瞬低対策範囲が拡大しており、これに伴って増大するUPSの損失を低減することが重要になってきている。本稿では、製造ラインに用いられる大容量の停電・瞬低対策用UPSについて、高効率化の最新技術動向を紹介する。

○過酸化水素による無塵衣の除染効果の検討
/日本エアーテック(株)/大塚陽介
無菌製剤等の医薬品製造所では、滅菌済みの使い捨て無塵衣もしくは洗濯後滅菌処理した無塵衣が着用されている。洗濯後の除染にはオートクレーブまたはEOGガスが用いられている。本稿では除染方法として、過酸化水素ガス(H2O2)による除染を検討した。

○より安全、安心、より快適、効率的な食品工場を目指し現状を見直そう
/(株)食品施設計画研究所/高橋賢祐
食品製造業を取り巻く環境を改めて考えてみると、さまざまな諸問題を抱えており、新製品の開発、製造の効率化、省人化等、取り組むべき課題は多く、また、従来の食品安全への取り組みに加え、意図的な異物混入対策や工場の老朽化への対応は避けて通れない。現在の工場の見直しでこれらの課題に対応できるか、また、検討する場合のポイントを考えていく必要がある。本稿では、その概要について述べる。

○シリコン・ウェーハのピンホール欠陥2
/半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
シリコン・ウェーハのピンホール欠陥の悪影響と欠陥検出方法、ピンホール欠陥の物理的実体であるシリコン中の球状欠陥の形状解析結果について報告した。

■連載
○わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策　第34回
/新日本空調(株)/水谷 旬

○温故知新「日本におけるクリーンルーム技術革新の源流を訪ねて」　第3回
/N.A.コンサルタント/安藤紀雄

■製品紹介
○新型導電マット
/(株)TRINC/高柳 真

○住宅における空気環境の改善策
/(株)トルネックス/髙田貴仁

○次亜塩素酸空間清浄機「ジアイーノ」の空間除菌効果
/パナソニックエコシステムズ(株)/吉田真司・堀切茂俊・村松 隆

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