/日本工業出版(株)/

■特集:活用が進むナノインプリント技術
○ナノインプリントの歴史と現状/兵庫県立大学/松井真二
1995年にChou教授によって、低コスト、10nm高解像度を特徴とするナノインプリント技術が提案されて以来、鋭意研究開発が行われ、20年が経った現在では、ナノインプリントを利用した産業化が現実のものとなりつつある。本稿では、ナノインプリントの歴史、プロセス、および応用展開の現状について概説する。

○ナノインプリント技術の応用展開/(株)日立製作所/宮内昭浩
ナノインプリントは微細な構造を簡便、低コストに形成できる特徴を有しており、実用化の段階に到達している。微細な構造を樹脂材料の表面に付与することで、物理的、化学的、生物的な機能を向上した応用例を紹介する。

○ナノインプリント製フォトニック結晶を用いたバイオセンサー開発
/大阪府立大学大学院/遠藤達郎
本稿では、筆者らが提案しているナノインプリントリソグラフィーを基盤技術としたナノ光デバイス作製技術「プリンタブルフォトニクス」にて作製した光学デバイス「フォトニック結晶(Photonic crystal:PhC)」を用いたバイオセンサーについて概説し、今後の展望・産業応用における課題について述べる。

○最新のUVインプリントリソグラフィ技術とそのフォトニクス
デバイスへの応用/(株)デアネヒステ/中尾正史
UVインプリント技術の個別の工程について詳細な説明を行った後、開発した技術を利用し、従来技術ではナノ構造の作製が困難であった、強誘電体(LN)やサファイアへの加工に適用した例を紹介し、フォトニクスデバイスの高機能化の可能性について言及した。

○太陽電池表面を黒くするナノインプリント技術
/奈良先端科学技術大学院大学/石河泰明
単結晶シリコン太陽電池表面の反射率低減は高効率化に有効である。ゲル-ナノインプリント法により作製できるサブミクロンサイズのテクスチャ構造体をシリコン表面に形成した時の拡散平均反射率を三次元数値解析した結果を示した。

○ナノレオロジープリンティング
/北陸先端科学技術大学院大学/下田達也
ナノレオロジープリンティング(n-RP)法は、溶液から得た酸化物前駆体ゲルをインプリント加工して酸化物の固体パターンを得る手法である。本稿ではn-RP法の成形メカニズムとそれを利用した微細チャネルを有する高性能トランジタの作製を紹介する。

○ナノインプリント・テンプレート計測用　CD-SEM/(株)ホロン/中村直行
フォトマスク計測で培われた、試料帯電抑制のための低真空技術と、高分解能観察のための収差補正機能に改良を加え、ナノインプリントリソグラフィ用クォーツテンプレートの高分解能での安定観察と、高い測定再現性を実現した次世代測長SEMを紹介する。

■解説
○FFUのリアルタイム制御によるクリーンルームの省エネ
/清水建設(株)/中村卓司
クリーンルームの省エネのため、清浄度のリアルタイムモニタリングとFFU周波数のリアルタイム制御が可能なシステムを開発した。その結果、発塵量が変化しても清浄度を一定レベル(目標濃度)に維持することができ、周波数を固定した場合に比べて消費電力量を約40%低減できることを確認した。

○次世代Cu/Co配線に適応したpost-CMP洗浄液の開発
/三菱化学(株)/原田憲・鈴木敏之
近年、新規バリア材料としてCoの使用可能性が高まっており、CMPスラリー、CMP後洗浄液共にCoへ対応しなければならない。洗浄においてはCu-Co間のGalvanic腐食が懸念されているが、当社での対応の一部を紹介する。

○シリコン・ウェーハのバルク金属汚染
/半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
洗浄後のp型ウェーハにおけるバルク金属の拡散挙動を解説した。p+ウェーハ表面のCu原子・イオンは内方拡散してバルク汚染に転化するが、60日程度経過すると外方拡散に転じる。また、p+ウェーハ中のバルクNi原子・イオンは外方拡散により表面に蓄積する。

○クリーンルームにおける空中浮遊微生物のモニタリング
/メルク(株)/田中暁典
医薬品製造施設のクリーンルームにおける空中浮遊微生物に関するモニタリングについて日本薬局方などの規格に沿ってモニタリングの手法、実施するうえでの注意するべきポイントなどを紹介する。

○マルチパターニング技術の開発状況/
東京エレクトロン(株)/八重樫英民
193液浸技術の延命策として期待されるマルチパターニングの応用例について紹介する。特に、一方向(1D)レイアウトの各処理工程での微細化の可能性とデザインに対するパターン解像の忠実度に焦点を当てて、実証結果と本技術の有用性について触れる。

■連載
○室内カビ汚染の評価・計画・対策技術 3
カビ耐性建材の選定技術/鹿島建設(株)/冨田洸・武廣絵里子・澤田瑞恵

■製品紹介
○クリーンルームの水加湿方式による省エネルギー化
/(株)いけうち/江崎寛通

■研究室紹介
○東京農工大学農学部環境資源科学科無機地球化学研究室
/東京農工大学/畠山史郎

○筑波大学パワーエレクトロニクス研究室/筑波大学/岩室憲幸