/日本工業出版(株)/

■特集:静電気応用技術のバイオ利用と最近のイオナイザ
○静電気学会の紹介と静電気応用技術研究事例
/豊橋技術科学大学/水野彰
静電気は古い学問であるが多くの自然現象の基礎であり、応用範囲も広い。創立39年になる静電気学会ではウェブによる論文閲覧など充実した会員サービスを行っている。あわせて、最近のPM2.5の除去技術ならびに低温プラズマの医療分野への応用の試みを紹介する。

○大気圧プラズマによる室内空気質向上/静岡大学/清水一男
室内空気質(IAQ:Indoor Air Quality)の向上を目指すため、室内空気を模擬した空間23.4 m3(約6畳)の中で、近年の建物の構造上、自然には除去されにくい有害物質としてPM等の集塵、アンモニア脱臭、大腸菌の滅菌の評価を針電極、マイクロプラズマ電極を用いて行った結果を紹介する。

○大気圧プラズマ流による細菌の殺滅/東北大学/佐藤岳彦
大気圧プラズマの流れを利用した低温殺菌法や殺滅機構について紹介する。一般的な低温滅菌法の細菌殺滅機序とプラズマ作用の類似点や相違点などについて解説し、筆者らのグループで開発してきた滅菌装置の構造や滅菌性能、プラズマ特性などを紹介する。

○防爆型イオナイザの開発/春日電機(株)/最上智史
近年、可燃性雰囲気内で行う生産工程が増えてきている。このような防爆エリア内で使用できるイオナイザの開発を行った。本稿では防爆構造検定試験の一例として衝撃試験や圧力分布試験の試験結果について述べる。また、防爆構造に沿った形で除電能力を向上させるための検討も行った。その結果、可燃性雰囲気内で使用可能で十分な除電能力を持ったイオナイザを開発したので報告する。

○両極性間欠パルス方式除電装置の特性
/シシド静電気(株)/高橋克幸・後藤章・永田秀海
除電装置の電源方式とし、両極性間欠パルス方式を開発した。印加電圧波形の最適化により除電効率を高め、除電性能の長期安定性能および、静電気管理電圧が数V以下と非常に低い工程への適用を可能とする、超低オフセット電圧性能を実現した。

○ブロータイプイオナイザを用いた交流コロナの電源周波数と除電特性
/(株)コガネイ/深田佳成・小根澤和義・小辻一雄/山県大学/杉本俊之
交流コロナ放電方式のブロータイプイオナイザを用いて、高電圧の電源周波数別のノズル内のイオン搬送量と帯電物体の除電速度、有効除電電流の比較から交流コロナ放電方式の電源周波数別のイオン搬送特性を検討する。

○自己放電型イオナイザの活用法/山形大学/杉本俊之
自己放電型イオナイザは、電圧印加型イオナイザのような除電時間やイオンバランスという評価指標がないため、上手に活用されているとはいいがたい。本稿では、除電の原理から構築した評価指標を提案し、効果的に活用する方法について述べる。

○電極加熱による低発塵コロナ放電式イオナイザの開発
/(株)テクノ菱和/佐藤朋且・鈴木政典/豊橋技術科学大学/水野彰
液晶製造等のクリーンルームで使用されるコロナ放電式イオナイザは、放電極へのSiO2粒子の付着・再飛散等により発塵することが知られている。そこで我々は、電極加熱で発生する熱泳動力を用いて、電極へのSiO2粒子の付着を低減するコロナ放電式イオナイザを考案した。本稿では、熱泳動力によるSiO2粒子の付着低減について、微粒子沈着理論と実験によりその可能性を検討したので報告する。

■特集:ドライルーム用除湿の最新の省エネ技術
○低露点ドライルーム用低温再生除湿機の高性能化/(株)西部技研/金偉力
70℃の低温排熱を利用でき、-40℃DP以下の低露点ドライルーム用低温再生除湿機を開発した。再生温度60℃で-55℃DP以下の乾燥空気が得られた。ドライルームの省エネ性向上・ランニングコスト削減だけではなく、電気や、高圧の水蒸気などの高品質な熱源の使用が制限される事業所にも、低露点ドライルームの実現可能になり、コージェネシステムの排熱を利用する機器としても期待される。

○低温再生60℃での高効率除湿システム
/(株)ダイキンアプライドシステムズ/岩田哲郎・池上豊
リチウムイオン二次電池製造における超低湿環境を作るために消費するエネルギーは、エネルギーコストの約4割を空調設備でしめるともいわれている。当社は、除湿における再生ヒータの低温化とエネルギー効率の向上を目的として「SmartDryシステム」を開発した。

○省エネ除湿システムと低露点CFD解析
/新菱冷熱工業(株)/三上秀人・佐原亮・長澤雅俊
ドライルーム省エネシステム「アリフィカス」の、省エネルギー性能、負荷変動に対する追従性、費用対効果などについて述べた。また、露点温度CFD解析については、計算精度や計算能力の他、露点温度の経時変化に関する解析例について紹介した。

○吸着式ローター除湿機における省エネシステム
/(株)テクノ菱和/菅田大助・海老根猛
製薬、食品、電子部品材料などの製造工程で必要な低湿度環境を作る吸着式ローター除湿機には多量のエネルギーが必要である。これまでに従来比30%の省エネを実現したRECODRYを開発納入している。この解説では、さらに省エネとなるRECODRY IIの概要について述べる。

■解説
○シリコン・ウェーハのバルク金属汚染2
/半導体関連技術コンサルティング・滝山事務所/滝山真功
スライシング工程に起因するバルク金属汚染について概説した。遊離砥粒に起因したバルク金属汚染は、その後のラッピング工程で完全に除去されない。ダイヤモンド・ワイヤーの適用、およびラッピング前のエッチングや表面研削は、その低減に有効である。

○水素ラジカルによるArFレジストの除去
/大阪市立大学/堀邊英夫・西山聖/香川高等専門学校/山本雅史
ベースポリマーであるPMMA系ポリマーの除去を行い、ベンゼン環を有するポリマーや主鎖架橋型のポリマーの除去速度が遅いことを明らかにした。水素ラジカルは、ArFレジストに対して高い除去性を有すること示唆した。

■製品紹介
○簡易封じ込め装置　/(株)奈良機械製作所/中原裕子

○コンテナ型データセンター/富士電機(株)/玉田昭太郎

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