/日本工業出版(株)/

■特集:半導体製造工程で使われている検査計測機器
○半導体カーブトレーサ/岩通計測(株)/成田芳正
最近では半導体テスタ同様に、自動測定により短時間に各種パラメータを測定することを求められる場面も増えてきた。ここでは、半導体の特性評価に最適な高電圧モードと大電流モードを備えた、半導体カーブトレーサシリーズとその最新の機能を紹介する。

○パワーデバイス向け信頼性検査装置/エスペック(株)/栗谷聡一
Siにかわる新材料の開発が盛んに行われているバワーデバイス。SiCやGaNは本格的な普及が期待される。これらの信頼性試験方法は高電圧、大電流、高温動作試験がキーワードである。それら特徴的な仕様に合わせた半導体向け信頼性試験装置を紹介する

○非走査共焦点方式三次元形状計測/(株)高岳製作所/日名子達也
現代社会における電子機器の高性能化・小型化の実現は半導体の集積度の向上によるものが大きい。本稿では集積度に応じて重要となった半導体検査の高速性に対応すべく開発した高精度かつ高速なバンプ高さ検査装置とその技術について紹介する。

○光学式ウェーハ外観検査装置/東レエンジニアリング(株)/山本比佐史
　信頼性が要求される車載用デバイスを中心に光学的なウェーハ外観検査の要求が高まりつつある。この要求に応えるために、高速で全数外観検査を可能とした当社装置の適用例と、トータルタクト短縮への取り組みを中心に解説する。

○カラーチップ外観検査装置の最新検査手法
/(株)トプコンテクノハウス/上村拓人
近年、半導体製造の検査工程において、カラー検査の必要性が急速に拡大している。これらの需要に応えるため、当社は第二世代となる最新のカラー検査装置をリリースした。本稿では、新たに開発したカラー検査技法を紹介するとともに、カラー検査を色欠陥検出以外に応用した事例についても解説する。

○生産効率および歩留まりの向上に貢献する
プラズマ発行モニター技術/浜松ホトニクス(株)/増岡英樹
プラズマプロセスモニタは、エッチング、スパッタ、CVD等の半導体製造プロセス中のプラズマ発光スペクトルをリアルタイムでモニターすることにより、プラズマ状態を監視する。また、プラズマ条件の最適化、クリーニングサイクルの最適化、および、高精度なエッチング終点検出を行い、プロセス時間の短縮によるスループットの向上や、ガス流量の低減に貢献する。

○半導体市場における新しい膜圧測定技術
/フィルメトリクス(株)/井口恭
TSV、SOI、化合物半導体、MEMSなど新しい半導体技術が登場している。これらの新しい技術に伴い研究開発、製造部門で求められる膜厚測定技術も変化している。当社の膜厚測定システムがどのように使われているかを紹介する

■特集:安全計装システムの現状2
○安全性と効率性を追求した安全計装システム
/シーメンスジャパン(株)/雨宮祐介
安全制御のエンジニアリング及びオートメーションシステムの効率性や柔軟性を追求した安全統合システム。本稿ではSIMATIC Safetyのコンセプトやメリット、その技術を使用した安全製品の紹介をする。

○拡張性に優れた安全計装制御システム
/ロックウェル オートメーション ジャパン(株)/吉田高志
数年前と比較をすると様々な業界/業種の客先から安全計装に関する問い合わせを受けるケースが増加している。当社では安全計装用制御システムとして幾つかのアプローチ・ソリューションを有しており、本稿では、その中の1つのソリューションであるAADvanceTMについて紹介する。

○緊急遮断システムに対する信頼性の追求
/東燃ゼネラル石油(株)/室屋耕一郎
　緊急遮断システムにおける過去を振り返りながら、約15年前に導入した一つの事例に対してその後の稼働評価を行い、併せて安全計装インフラとしての緊急遮断システムの長期的な信頼性についても触れて紹介する。

○製油所における安全計装導入事例/極東石油工業合同会社/大渕桂
重要コンプレッサの緊急遮断システムをハードリレーから安全計装システムに置き換えた事例と、安全計装システムHMIの活用事例を紹介する。また、実際に使用して感じた安全計装システム導入のメリットについて述べる。

■製品と技術
○産学両分野に活躍、高性能・高解像度・多機能PCオシロスコープ
クレーバースコープ/〔原文〕クレバースコープ社
/Bart Schroder〔翻訳〕TUI　Solution(株)/村岡仁之
本稿では品質保証分野と実験・計測後の結果処理、文書作成行程に至るまで、有用に貢献する機能を中心に解説する。

■連載
○PID制御系を支える周辺技術を支える深耕とその応用　
第36回　(最終回)
制御技術の開発および応用に関する指針の提言
/ワイド制御技術研究所/広井和男
この連載は36回になった。最初の「PID制御の基礎」シリーズからカウントすると、累計126回で10年を超える長期連載になった。最初に予定していた内容をすべて書き尽くしたので、今回をもって連載に終止符を打つことにした。最終回として、体験に基づいた制御技術の開発および応用に関する提言をして総まとめとしたい。連載した内容が読者の業務遂行、能力開発に少しでも役立てば、これにすぐる喜びはない。長い間のご愛読に感謝し、読者諸賢の益々のご活躍を祈念しつつ筆を置く。

○電気の世紀へ　第114回
光電子増倍管と宇宙への挑戦/松本栄寿
1987年2月23日、日本時間午後4時35分35秒、岐阜県山奥のカミオカンデ検出器は11個のニュートリノ事象を観測した。地球から17万光年の距離にある大マゼラン星雲で起こった超新星1987A爆発から放出されたニュートリノであった。超新星の爆発が観察されたのは400年ぶりのことである。これがニュートリノ天文学へ道を開いた。カミオカンデ検出器には浜松ホトニクスが開発・製造した20インチ光電子増倍管が使われた。

○JCSS コーナーリニューアルのお知らせ
/(社)日本電気計測器工業会

■製品ガイド
○面積流量計

■コラム
○技術者育成雑感(75)