/日本工業出版(株)/

■特集:MEMS分野の最新動向2
○MEMSの動向と今後の課題/オムロン/伊藤義武
モノづくり、環境、エネルギー、医療などの分野でのグローバルな課題解決に貢献する新たなアプリケーション開発がMEMSの更なる拡大に貢献すると考える。本稿では、モノづくりにおける課題とその一つの解決手法を紹介する。また、自律型センサ活用による革新的な省エネに貢献する新たなアプリケーション事例を紹介する。

○オリンパスのカンチレバー最新動向/オリンパス/北澤正志
近年、革新的方法によって直径20nm以下のカーボンナノファイバー(CNF)を、選択的に成長させたカンチレバー探針の製品化に成功した。半導体パターン寸法の計測や品質検査は元より、ナノテクノロジーやバイオテクノロジー分野を一変させるものと期待している。

○ヘテロジーニアス三次元集積化技術
/富士通研究所/中澤文彦・勝木隆史・井上広章・中谷忠司・ミィ シャオユウ
LTCC、薄膜パッシブデバイス技術、そしてMEMS技術の利点を組み合わせるヘテロ三次元集積化技術について述べる。この集積技術を用いた小型デュプレクサモジュールと次世代RFフロントエンドモジュール実現のためのRF-MEMSデバイスの試作と評価に関して述べる。

○東日本大震災後のセンサの役割/富士電機/松添雄二
東日本大震災後の安心・安全を見守るセンサとして、原発事故後に放出された放射性物質から住民を守るために不可欠となる放射線センサと、地震によって損傷した建物の状態を診断する構造ヘルスモニタリングに不可欠となる感振センサの役割について解説する。

○MEMSセンサからエネルギーハーベスト/EnOcean GmbH/板垣一美
エネルギーハーベスティングと無線通信技術を組み合わせた技術が新しいマーケットを作り上げており、エネルギー源として振動を利用するMEMS振動発電デバイスの実用化が待ち望まれている。EnOceanエネルギーハーベスティング無線センサプラットフォームについて解説後、MEMSデバイスの応用について述べる。

○ナノバイオMEMS/東京大学生産技術研究所/尾上弘晃・竹内昌治
ナノスケールの生体機能分子であるDNA やタンパク質と、MEMS・マイクロ流体デバイスを融合することで、生化学反応やナノスケールの自己組織化構造の利用を可能とするマイクロシステムについて紹介する。

○東北大学MEMS試作コインランドリにおける
オープンイノベーション/東北大学/戸津健太郎
MEMSを中心とした半導体微細加工のための装置100台以上を企業に開放して開発を支援する試作コインランドリを運営している。この3年間で全国から100社以上の企業が利用している。ファブレスのベンチャー企業の活動の場ともなっている。

■解説
○誘引型温度成層空調の非一方向流型クリーンルームへの適用
/高砂熱学工業/守屋寛之
非一方向流型クリーンルームにおいて、省エネルギー性と経済性の両立を図るため、旋回流誘引型置換換気空調システム(SWITR)を用いた場合の効果について報告する。従来の混合方式と性能比較を行うとともに、実施事例における検証結果を報告する。

○国内外における抗菌試験方法の概要/高麗微生物研究所/高麗寛紀
抗菌加工は衛生加工から始まり、有機系、銀系、光触媒系抗菌剤の開発により細菌、かび、ウイルスの抗菌へと拡大している。抗菌加工の歴史は試験方法開発の歴史でもあることより、JIS、ISO、ASTMなどの国内外の抗菌試験規格を概説した。

○生菌数計測の方法について/メルク/小林央子
多くの食品・飲料、医薬品業界では、従来の培養による生菌数試験よりも早く汚染を検出する技術が要求されている。本稿では、生菌数試験について、従来法と迅速法を解説し、迅速法導入検討事例について紹介する。

○空中浮遊微粒子と主要浮遊カビの相関性
/新潟県立大学/村松芳多子/NPO 法人カビ相談センター/高鳥浩介
空中微生物環境の真菌測定には、簡便な落下菌測定法が多い。培養に一週間程度要すため判定に時間がかかる。そこで迅速計測可能な空気中浮遊微粒子を測定できるパーティクルカウンター測定を併用し、それら真菌数関係を解析し、相関性のあることがわかった。

○ETRF使用期間の検討
/佐久市立国保浅間総合病院/高橋修司・飯塚雅人・他
Endotoxin Retentive Filter(ETRF)の使用期間については、臨床での使用期間はさまざまである。当院では6ヶ月使用し、ET活性検査、生菌数検査が未検出という結果から、使用期間の延長を考えたが、培養不能菌といった通常の培養法では検出できない菌が大半を占めるといわれており、更なる検討が必要と考えた。今回、ET活性検査と生菌数検査に加え、微生物迅速検査、物性変化の観点からETRFの使用期間の検討を行ったので報告する。

○450mmウェーハ搬送技術の展望/村田機械/山本眞
本稿では、キャリア自動搬送メーカー視点で、200 mmから300 mmへの移行時に目指したことを振り返り、既に業界で明らかになっている資料、搬送メーカーとしての経験を基に450mm工場をイメージし、課題を明らかにし解決の方向について述べる。

■連載
○わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策10
ケミカル汚染物質(その4)/新日本空調/水谷旬

○有機EL照明の最新動向3
照明パネル用の材料の動向と課題と、市場規模の予測
/分析工房/服部寿