日工の技術雑誌

クリーンテクノロジー 2009年11月号
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09l11

クリーンテクノロジー 2009年11月号

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■特集:先進のミニエンバイロメント技術1
○巻頭特別インタビュー:「半導体量産ラインへの国内初のミニエンバイロメント全面採用」秘話/Hattori Consulting International/服部 毅/日本ケンブリッジフィルター/木崎原稔郎
○ミニエンバイロメントに対応したクリーンルーム技術/工学院大学/並木則和/東京工業大学/諏訪好英
○ミニエンバイロメントとケミカル汚染測定/住化分析センター/大川典子
○パーティクル発生を低減した450FOUPロードポートの提案/TDK/岡部 勉
○450mmウェーハ用SEMI規格開発動向/アクティオン/小松省二

■コーヒーブレイク
○ペルー・チチカカ湖上の太陽電池/服部 毅

■解説
○インフルエンザウイルス不活化剤を有するエアフィルタの効果/日本バイリーン/望月堂照・西堀 寧・大垣 豊/鳥取大学/伊藤壽啓・伊藤啓史
○大型ガラス基板向けカセットストッカ内の気流制御/日立プラントテクノロジー/神谷松雄・橋本敏浩/日立プラントエンジニアリング/藤田恭成
○マイコンを活用した恒温恒湿省エネシステム/菱機工業/阿部俊明・役山孝之・神成孝則・村田 元・山本友範・金塚憲一

■シリーズ:研究室紹介
○(株)朝日工業社 技術研究所/朝日工業社/本田重夫

■製品紹介
○メディカル用クリーンブース/高砂熱学工業/伏水 聖
○クリーンルームガスモニタ/横河電機/中川直樹
○低発塵、低価格、クリーン市場要求に応えて/THK/田中俊也

■基礎講座:わかりやすいクリーンルームの運転・保守管理技術4
○クリーンルームの汚染管理/福井工業大学/浅田敏勝

■連載:シリコンウエーハに起因したデバイス不良とウエーハエンジニアリング5(最終回)
○ウエーハ形状のデバイス・プロセスへの影響/三菱電機/山本秀和

■製品特集
○ドラフトチャンバー/編集部

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