CLIENT NEWS 油空圧技術
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[2] 半導体製造向け新製品 サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ - 2009/10/27(Tue)
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スウェージロック社は、高い温度のプリカーサーを使用するアプリケーションが増加する半導体製造業界において、バルブ全体（ボディ／アクチュエータを含む）を高温雰囲気下で使用できる新製品として、SwagelokRサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブを発表した。
高温アプリケーション向けに設計されたこのサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、特長として、アクチュエータの高速作動が可能で、アクチュエータを含むバルブ全体が220 ℃までの高温雰囲気下で使用することができる。
最大流量係数（Cv値）は0.60で、高速熱処理やプリカーサー供給、ALD（原子層蒸着）を含む蒸着プロセスに適している。 また、完全に包み込まれた高純度PFA製シートは、ジルコニウム、ハフニウムといった液体、ならびに固体の先端材料を含む幅広い材料に対する耐性を持っており、そのシート設計はプロセス中の膨潤とコンタミネーションに対する耐性にも優れている。
さらに、障害物を完全に一掃した流路によって流体のたまり部分を最小限に抑えるとともに、パージを容易にし、流量を最大にすることができる。この流路設計は、Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ・バルブ、そしてALDバルブに共通している。
ボディの材質は316 L VIM-VARステンレス鋼で、VCRR継手や大流量用HタイプVCRメタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接などのエンド・コネクション・タイプ（サイズ：1/4インチ、3/8インチ）に加えて、集積モデルにも対応している。また、サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのアクチュエータには空気式と手動式があり、空気作動式バルブのオープンまたはクローズに要する時間は5 ms未満で、手動式バルブにはロッキング・ハンドルが付いている。
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、マニホールドやモノブロック、カスタム加工を行ったサブアセンブリーなど、さまざまなプラットフォームに組み込むことができる。
／問い合わせ先
スウェージロック社
URL：http://www.swagelok.co.jp
日本スウェージロック㈱ ・マーケティング・コミュニケーションズ TEL：0798-28-6055（直通）
・㈱バーソン・マーステラ（広報代理店） TEL：03-3264-6701
[1] 平成20年度職業能力開発関係厚生労働大臣表彰 - 2009/09/09(Wed)
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昨年11月17日、職業能力開発の推進に寄与した功労者ならびに団体に対して、職業能力開発関係厚生労働大臣表彰が行われた。
この表彰は職業能力開発の推進を図るため、
① 認定職業訓練の実施状況が極めて優良な事業所および団体ならびに認定職業訓練の振興・育成に多大な貢献があった功労者
② 技能検定に関し永年にわたり多大な貢献があり他の模範となる事業所および団体ならびに技能検定委員等として永年にわたり従事し顕著な功績があった功労者
③ 技能振興に関し永年にわたり多大な貢献があり、他の模範となる事業所および団体
に対して行われるものである。
油空圧技術関連企業からは、技能検定関連で、妙徳 長岐忠則氏と団体でKYBが表彰された。なお同日、中央職業能力開発協会長表彰として、豊興工業 馬場宏衛氏と 東京計器 渋谷文昭氏が表彰された。
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